中古 ASYST ALU 2150 #9119973 を販売中

ASYST ALU 2150ウェーハハンドラは、多くの大規模な生産アプリケーションで使用される完全に自動化され、プログラム可能な半導体ウェーハ処理システムです。これは、シングルと複数のダイサイズの両方に対応でき、最大の稼働時間の信頼性と柔軟性を提供します。このシステムは、正確なウェーハ製造環境のための湿度、温度、大気の制御を提供し、ウェーハキャリアの高速かつ簡単な積み下ろしのための高容量ロボティクスも備えています。ALU 2150は、最大1cm/秒の速度でウェーハをロードポートからロードポートステーションに移動させる高速転送キャリッジと、ウェーハの自動洗浄、ハンドリング、位置決めを提供する高度なウェーハ処理モジュールを備えており、正確な自動アライメントが可能です。この結果、高いスループットと生産環境での歩留まりが得られます。内蔵のカセットハウジングは、スペースを節約し、完全なウェハプロセスカバレッジを提供する幅広い標準的なウェハートレイフォーマット、カセット、トレイストラップ、およびキャリアに対応するために調整することができます。調節可能な皿のおりはまた標準化された生産ライン変数の速いセットアップを可能にします。さらに、ASYST ALU 2150は、品質管理と正確な生産データ追跡を確実にするための強化されたトラックおよびトレース機能を提供します。また、内蔵のエラー検出メカニズムとリモート操作機能を備えており、ダウンタイムを最小限に抑えます。さらに、高度なオートメーションシステムにより、効率的なウェーハアライメント、キャリアローディングとアンロード、ウェーハのロボット配信が可能になります。ALU 2150は、半導体生産に最適な信頼性と高速性、プログラマブルなウェーハ処理システムです。さまざまなウェーハフォーマットに対応し、高度なトラックおよびトレース機能、温度および湿度制御システム、およびウェーハを効率的に処理するための強化されたオートメーションシステムを備えています。