中古 ASYST 9701-1256-01 #9250846 を販売中

ASYST 9701-1256-01ウェーハハンドラは、半導体生産環境のさまざまな機器または場所間でウェーハを確実かつ正確に転送するように設計された産業用グレードのロボット機器です。このピック、プレイス、トランスファーシステムは、8インチウェーハ用に特別に設計されており、一度に1つから4つのウェーハを扱うことができます。ダイシング、研削、ラッピング、クリーニング、および高度な製造のための生産の初期段階からウェーハの輸送に最適です。9701-1256-01には真空吸引アームが装備されており、部品や表面に損傷を与えることなく、ウェーハを静かに確実に持ち上げて配置します。ロボットは、病院グレードのクリーンルームにパッケージされた3つの主要コンポーネントが含まれています：電子コントローラーモジュール、調節可能な明るさのトラッキングユニット、ピックとプレイスユニット。このロボットは、補充を必要とせずに8時間連続稼働するように設計されており、追跡機は片面と両面の両方のウェハで動作します。ASYST 9701-1256-01は152x152mmまでカートリッジおよび基質のサイズの広い範囲を使用できる動き用具と造られます。セラミックトレイと手動治具の両方に対応し、さまざまな試験治具、キャリア、およびカートへのウェーハの迅速な設置を可能にします。ロボットは、高精度で位置を学習し、繰り返すために統合されたPiezoドライブと位置エンコーダが含まれており、オペレータはすぐに変化する生産要件に適応することができます。このアセットは、オペレータがウェーハピックアップ位置のポイントツーポイントまたは中間位置を簡単に変更できるように設計されており、各プロセスステップで再現性のある正確な結果が得られます。このロボットは、8GBのRAMメモリを搭載したマルチタスキングモデルを備えた強力なサーボコントロールユニットを備えており、最大4つの同時移動軸の精密制御を可能にします。さらに、タッチスクリーンディスプレイと多言語操作が組み込まれており、ロボットのセットアップ、パラメータ化、プログラミングへの簡単で直感的なアクセスを提供します。全体として、9701-1256-01は、生産中に8インチウェーハを処理するために特別に設計された信頼性が高く、効率的で使いやすいロボット機器です。一貫した精度と再現性を実現し、オペレータは迅速かつ確実にウェーハを正確に転送および位置決めすることができます。この柔軟で高効率なシステムにより、半導体製造環境でのウェーハ輸送に最適です。