中古 ASYST 9700-9129-01 #9145872 を販売中

ID: 9145872
ヴィンテージ: 2004
Wafer handler 2004 vintage.
ASYST 9700-9129-01ウェーハハンドラは、直径6インチ、8インチ、12インチのウェーハを含む幅広い半導体ウェーハを迅速かつ安全に処理するために設計された専用ツールです。このツールは、さまざまな設定で使用するのに適したコンパクトで軽量なデザインを備えています。ハンドラは、ウェーハホールディングプラットフォームとウェーハトランスファーアームの2つの主要要素で構成されています。ウェーハ保持プラットフォームは、ウェーハの適切なサポートを確保するために硬質アルミニウムまたはステンレス鋼で作られたプレートです。ウェハトランスファーアームは、プラットフォームに取り付けられるオープンエンドグリッパーを備えたロボットアームです。アームは、ウェーハの接触を最小限に抑え、ウェーハの損傷を最小限に抑えて、プラットフォームからウェーハを正確に配置および除去することができます。また、アームはウェーハを回転させて反転させ、搬送時に再配置することもできます。9700-9129-01ウェーハハンドラは電気式で、さまざまな電源から操作できます。オートメーション機能により「、半自動」または「全自動」モードで使用できます。半自動モードでは、ウエハハンドラはオペレータによって操作され、全自動モードではウエハハンドラは独立して機能するようにプログラムされます。ASYST 9700-9129-01ウエハハンドラは、傷つけずに壊れやすいウエハーを安全に取り扱うように設計されています。その精密な動きと厳格なロボットコンポーネントは、ウェーハが適切に整列し、ある場所から別の場所に安全に転送されることを保証します。9700-9129-01ウェーハハンドラは、ウェーハの処理に加えて、ウェーハのクリーニングにも使用できます。搬送前にウェーハ表面から破片を吹き付けたり引いたりできる加圧エアジェットを装備しています。ASYST 9700-9129-01ウェーハハンドラは、簡単なプログラミングも可能です。プログラマは、ウェーハ番号、ウェーハサイズ、転送方向、転送方向順など、ハンドラの操作を制御するためのパラメータを簡単に設定できます。さらに、9700-9129-01ウェハンドラに障害診断システムが組み込まれています。このシステムは、ウェーハ処理プロセスの障害を検出し、メンテナンスとシステムリカバリを容易にするように設計されています。全体として、ASYST 9700-9129-01ウェーハハンドラは、損傷を最小限に抑えてさまざまな半導体ウェーハを処理および転送するための信頼性の高い効率的な方法であるように設計されています。使いやすく、プログラム可能な機能により、多くのアプリケーションにとって貴重なツールとなっています。
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