中古 ASYST 9700-6208-01 #9194811 を販売中

ASYST 9700-6208-01ウェーハハンドラは、IC製造時にウェーハを操作および搬送するプロセスを自動化するために設計された半導体処理ツールです。このハンドラは、ロースループット、ウェーハのキューイング、転送時のウェーハの配置ミスなど、ウェーハ処理における多くの課題に対処するように設計されています。フロントエフェクターとリアエフェクターの両方をサポートするベースフレームで構成されており、ウェハトランスファーとウェハピックアップとハンドリングを提供します。また、ベースフレームにはコントローラとサポートアクチュエータが収納されており、エンドエフェクタを動かすことができます。エンドエフェクターには、真空吸引カップとウェハツールという2つのウェハハンドリングメカニズムが装備されており、完璧なウェハトランスファーのためのウェハ操作を容易にします。9700-6208-01はモーションコントロールカードで駆動されます。モーションコントロールカードは、エンドエフェクターとウェハの正確な位置と動きを確保するためにステッピングモータを使用しています。これらのステッピングモータは2つのバージョンがあります：（1）より高いトルクとより長いストロークを備えたランピングおよびポジショニングアプリケーション、（2）高速で信頼性の高いウェーハ転送のための高速かつ短いストローク。ステッピングモータの両方のバージョンは、温度補償され、反復可能なモーションコントロール用に設計されています。また、ウェハハンドラにはウェハハンドリング用の安全システムが内蔵されています。安全システムには、何かがウェーハの転送に干渉しているときに検出するセンサーが含まれています。センサーはインターロックに接続され、予期しない閉塞または障害が発生した場合にステッピングモータとエンドエフェクターへの電源を遮断します。また、ウェハハンドラには、加工中に予期しない熱や圧力が発生した場合に検出するセンサーも搭載しています。ASYST 9700-6208-01ウェハンドラは、IC製造のための効率的で信頼性の高いツールです。これにより、キューイングと誤植の可能性を低減し、手動でウェーハを操作する必要がなくなります。統合された安全システムは、処理中の閉塞や過度の熱から保護し、ウェーハや工具自体への潜在的な損傷を防ぎます。