中古 ASYST 9700-6200-01 #9153699 を販売中

ASYST 9700-6200-01は、最大75mm/秒の速度で動作する完全自動ウェハハンドラです。レーザー誘導方式と振動低減機構を採用し、効率的かつ正確なウェーハ加工が可能な設計となっています。9700-6200-01は、コンベア、ロボットアーム、ウェハカセットの3つの主要要素で構成されています。コンベアには2つの独立したモーター式の軸があり、エンコーダが内蔵されているため、正確なウェハ位置決めが可能です。コンベアはまた、ウェーハの処理中に望ましくない振動が発生するのを防ぐ振動分離フレームによって補完されます。ASYST 9700-6200-01は、ロボットアームを内蔵し、長距離で広い作業エリアを持つゼロメンテナンスリニアモータ駆動ロボットです。近接センサーを用いた位置測定により、高精度な動きを実現します。また、ロボットアームはウェーハ処理システムによって補完され、ウェーハの同時取得、転送、および引き込みを可能にします。9700-6200-01のウエハカセットは、柔軟性を容易にし、さまざまな機械構成に簡単にフィットするロープロファイル設計を備えています。また、不要な光から敏感なウェーハを保護するアンチグレアパネルを装備し、ウェーハの積み下ろしを容易にするように設計されています。全体として、ASYST 9700-6200-01は、さまざまなアプリケーションに適した高度で効率的なウェハハンドラです。振動低減、レーザーガイダンス、フレキシブルなロボットアームが特徴で、ウェーハを加工しながら高精度・高速化を実現しています。また、独自のウェーハカセット設計により、ウェーハを適切にエンコードし、最大限の注意と安全性で処理することができます。