中古 ASYST 9700-6148-01 #9095779 を販売中

ASYST 9700-6148-01は、半導体産業における8インチウェーハの加工を目的としたロボットウェーハハンドラです。クラス100のクリーンルーム環境で動作するように設計されており、ベーキング、プロービング、測定、ソート作業など、ウェーハ処理以外の多くの作業に適しています。ウェーハハンドラは、メインロボットアセンブリ、オートサンプラーリフトユニット、およびビジョン機器、エアバルブ、バルブアセンブリ、ビジョンシステムを含む多数の周辺部品で構成されています。中央のロボットアームは3つの軸に沿って正確な動きが可能で、最大直径200mmのウェーハを素早く正確に操作できます。オートサンプラーリフトユニットは、8インチウェーハを垂直方向に一貫した反復可能で制御された動きを提供し、ウェーハハンドラから効率的にロードおよびアンロードすることができます。9700-6148-01ウエハハンドラは、ウエハーの検査および測定プロセスを処理前後に行うためのビジョンシステムも備えています。ビジョンユニットは、強力なズーム、記録、分析機能を備えており、さまざまな照明方法で補完され、さまざまな検査および測定タスクを実行できます。ウェハハンドラの周辺部品は、さらにその機能に貢献します。エアバルブはフレーム間のチャンバーの動きとウェーハ移動の自動化を可能にし、バルブアセンブリはウェーハ位置の正確な選択と操作を可能にします。このビジョンシステムは、搬送作業中にウェーハの位置を確認し、スパッタリング、汚染、エッジ損傷がないことを確認するために使用されます。最後に、ASYST 9700-6148-01は、クリーンルーム環境内でウェーハ処理タスクを実行できる信頼性の高い堅牢なマシンであるように設計されています。これらの要件を満たすために、コンポーネント、通信機、プロセス制御ソフトウェアは、ウェーハ処理および処理の最高水準を満たすように特別に設計およびテストされています。