中古 ASYST 9700-4680-01 #293759894 を販売中

ASYST 9700-4680-01は、さまざまな基板の信頼性と安全な転送を提供するように設計されたウェハハンドラです。直径300mmまでのウェーハに対応可能です。このウェハハンドラは、ACサーボモータ、精密スライドテーブル、エンコーダからなる高精度リニアモータ装置をベースにしています。高度なリニアモーションコントロールシステムにより、ウェハトランスファー操作の安定したプラットフォームと、正確で反復可能なウェハハンドリングシステムが保証されます。このウエハハンドラには、オペレータインタフェースを内蔵した一体型モニタリングユニットと、異常高速、異物、異常速度動作の検知システムを搭載しています。また、オントラックウェーハおよびオフトラックウェーハに対する保護も提供します。検出システムは、表面異常を検出することができ、ウェーハの転送を停止することができます。9700-4680-01はウェーハの処理のための有効な真空および機械把握機械を利用します。高精度リニアモータを使用してX軸とY軸で移動するウェハグリッププレートを備えています。また、インサート/コレクトハンドリング機構を内蔵しており、高真空圧に頼らずにウェーハを固定できるため、不要なウェーハ損傷を防ぎます。ウェハハンドラには、オペレータが危険な環境にさらされないようにする赤外線安全ツールが装備されています。これは、低温ベーキング動作を提供するだけでなく、正と負の両方の圧力環境で動作することができます。このウェハハンドラには、潜在的な障害を検出し、問題のオペレータに警告するように設計された診断ソフトウェアが組み込まれています。また、ウェーハ転送操作の動的速度制御も備えており、プロセスの再現性を大幅に向上させます。さらに、このウェハハンドラには統合されたデータストレージ資産があり、将来の参照のためにすべてのプロセス条件とウェハサイズ情報を格納します。このモデルは、履歴データを監視し、ウェーハ処理プロセスのトレーサビリティを向上させるためにも使用できます。ASYST 9700-4680-01は、さまざまなアプリケーションに適した信頼性と使いやすいウェハハンドラです。効率的で高精度で再現性のあるウェーハ処理機能を提供するように設計されており、さまざまな種類の基板やアプリケーションに迅速に適応できます。