中古 ASYST 9700-4631-01 #9143373 を販売中

ASYST 9700-4631-01は、自動マテリアルハンドリングに使用されるウエハハンドラです。インバキュームとノンインバキュームの両方のモーション機能を備えており、さまざまなウエハータイプの正確な配置とコレクションを提供します。この装置は、基板搬送電極上に複数のウェーハを正確に配置するための洗練されたウェーハステレオグラフィー技術を使用しています。これにより、複数のウェーハの手動および半自動ローディングおよびアンロードが迅速かつ低エラーレートで可能になります。9700-4631-01は、ウェーハのエッジ、位置、向きを検出するビジョンベースのセンサーを使用しています。これらのセンサはモーションコントロールシステムと組み合わされているため、ウェハハンドラは基板上に複数のウェハーを正確に配置し、基板との間を正確に移動することができます。ASYST 9700-4631-01には、マウスコントロールユーザーインターフェースが搭載されており、プログラミングと制御が可能です。いくつかの強力なソフトウェアパッケージは、このツールのプログラムと制御に使用できます。さらに、ウェハハンドラは優れた信頼性を提供します。最小限のメンテナンスで長時間にわたって動作するように設計されています。9700-4631-01は高度に構成可能で、カメラ資産、自動化されたドア、および調節可能な基質の段階のような多数の付属品を含んでいます。また、ロードマップモジュールが付属しており、すでにロードされている複数のウェーハのプログラマブルな位置、パラメータ、構成データを定義および更新できます。このモデルは、他の多くのウエハハンドリングソリューションと比較して設置面積が小さく、スペースの制約がある施設に最適です。また、シングルアームロボットまたは複数のアームロボットで使用できるように設計されており、幅広い処理環境に容易に組み込むことができます。ASYST 9700-4631-01は、半導体からバイオメディカルデバイスまで、さまざまな業務に使用されています。