中古 ASYST 300FL #9255542 を販売中

ASYST 300FLは、半導体業界で使用するために設計されたウェハハンドラです。ウェーハの搬送と加工において最高の要件を満たすように開発された、柔軟で自動化された装置です。300FLは、ロボットアームの並列ステージを利用して、プロセスステーション間の複数のウェーハの高速ロード、アンロード、および輸送を提供し、同時に、ベア、バンプ、およびパッケージ化されたウェーハの正確で安全な処理を可能にするマルチフォーマット設計を提供します。ASYST 300FLのロボットアームは、低速、高トルク、低ノイズ性能を実現するダイレクトドライブモータによって駆動されます。これにより、ウェーハトランスポートシステム全体で正確な速度と動作が可能になり、最大速度は200mm/s、再現性は± 0。5mmです。ロボットアームの3軸の動きは、ユニットに厳しい俊敏性を与え、制御は高度に設定可能でプログラム可能であるため、オペレータはプロセス要件に合わせて動作を調整できます。オプションのウェーハカセットステージングステーションでは、オペレータはプロセスサイクルを完全に制御し、カセット上の特定の場所から取り出すウェーハの種類を指定できます。ステージングステーション300FL配置された最大4つのカセットで、最大100ウェーハ（125mm or150mm）を保持できます。自動化された生産サイクルは、1サイクルあたり最大22の離散ステップで実行でき、複雑なパッケージングおよびバンピングプロセスに最適です。ASYST 300FLはウェハハンドリングツールに加えて、半導体製造の魅力的なソリューションとなる幅広い機能を備えています。このアセットには、簡単なモデル制御のためのイーサネット接続が含まれており、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が付属しています。これにより、オペレータは機器の設定、テストの実行、システム情報の表示を迅速に行うことができます。さらに、連動安全クラッディング、緊急停止スイッチ、および複数の独立した安全サブシステムなどの高度な安全機能を備えています。全体として、300FLは半導体業界にとって信頼性と柔軟性に優れたウェハハンドラです。高速、高精度、安全な性能により、このマシンは機能と性能の理想的な組み合わせを提供し、複雑なウェーハの搬送と処理作業に魅力的なソリューションとなっています。