中古 ASYST 300FL #9255541 を販売中

ASYST 300FLは、半導体製造設備における効率的かつ正確なウェハ転送を可能にするように設計されたウェハハンドラです。このハンドラーは、ウェーハが専門的かつ安全にロード、アンロード、輸送されることを確実にするために協力するいくつかのコンポーネントで構成されています。ウェーハローダーは、標準のFOUP （Front Opening Unified Pod）からプロセスチャンバーにウェーハをロードするために使用されます。リニアステージとパックローダーにより、FOUP内のウェーハが正しくピックアップされ、粒子状汚染を回避し、ウェーハスタックの中心をすばやく特定して最大スループットを確保できます。ウェーハアダプタは、搬送に安定したプラットフォームを提供し、搬送中のウェーハのレベルと適切な位置を確保します。ウェーハアンローダーは、ウェーハをカセットまたはボックスに取り外し、正確かつ迅速に配置するのに役立ちます。アンローダーには、部分的に装填されたウェーハに優しく固定する大型ロボットアームが装備されています。ロボットアームは、積み下ろし時にウェーハを所定の位置に保持するようにプログラムされています。アンローダーには複数のアンローダーツールを装備することができ、すべてのサイズと厚さのウェーハを熱損傷や破損のリスクなしにロードおよびアンロードすることができます。ウェーハトランスポータを使用して、プロセスチャンバ内の異なるステーション間でウェーハを迅速に移動させ、ダウンタイムを最小限に抑えながらスループットを向上させることができます。このウェーハハンドラには、転送中の損傷を避けるために正確にウェーハを選択して配置するように設計された高速トランスポータが装備されています。トランスポーターはまた、ウェーハが適切な位置に保持されることを保証し、粒子状汚染のリスクを低減します。300FLハンドラーは耐食性であり、長続きがする操作を保障する強い、すべての金属フレームの構造と設計されています。ハンドラーは直感的なソフトウェアでプログラムおよび監視することができ、ユーザーは特定のニーズに合わせてウェーハ処理プロセスをカスタマイズすることができます。モジュラー設計により、ユーザーはハンドラをレイアウトに合わせてカスタマイズし、コンポーネントを簡単に修正または交換することができます。ASYST 300FLウェーハハンドラは、熱損傷や汚染のリスクを低減しながら、精度と速度でウェーハのローディング、アンロードおよび輸送を可能にします。このウェーハハンドラは、信頼性が高く効率的な設計で、半導体ウェーハ製造業界の工業生産ラインに適しています。