中古 ASYST 300FL #9255540 を販売中

ASYST 300FLは、半導体ウェーハ上の集積回路（IC）の製造用に特別に設計された自動ウェーハ処理装置です。300FLは、正確で信頼性の高いウェーハ転送およびアライメント操作を提供する高精度の機器です。独自の2次元（2D）ウェハトランスファーモジュールを使用し、迅速な初期化と柔軟な操作を可能にします。ASYST 300FLは、ウェーハの精度アライメントと配置に標準化されたアルゴリズムを利用したビジョンシステムを採用しています。最大1.5µmの精度を実現し、繊細な加工工程に適しています。ビジョンマシンはまた、ウェーハの配置、回転、ピンクッション補正機能の包括的な範囲を提供します。さらに、300FLには、ウェーハのスループットを監視し、ツールのパフォーマンスをさらに向上させる一連のin-situセンサーが装備されています。ASYST 300FLの柔軟性は、再構成可能な設計によってさらに拡張されます。ウエハサイズの異なるウエハサイズに対応し、最大2つのウエハーを同時に処理するために簡単に再構成できます。これにより、より高いスループットと大容量を実現できます。さらに、その堅牢な設計は、高い信頼性と長い製品寿命を保証します。300FLは、キャリアカセットと加工機、またはモジュール間でウェーハを転送することができます。ウェーハハンドリングアセットは、数分でウェーハをカセット内およびカセット外に転送できます。また、ウェーハの自動ロードおよび手動ロードおよびアンロードのオプションも提供します。ASYST 300FLは、IC製造プロセス全体で多くの既存のシステムとインタフェースするように設計されています。モデルパラメータに簡単にアクセスできる直感的なユーザーインターフェイスが付属しています。さらに、生産環境で他の機器との統合を容易にするために、制御および通信プロトコルが含まれています。300FLは、ピーク効率で実行し、オペレータの介入を最小限に抑えるように設計されています。装置は独立して操作パラメータを監視し、オペレータにこれらのパラメータを報告することができます。これは、システムの品質と動作に関する貴重な洞察を提供し、高レベルのスループットを維持しながら低レベルのダウンタイムを確保するのに役立ちます。