中古 ASYST 300FL #293753078 を販売中

ASYST 300FLは、半導体加工のさまざまな段階でウェーハを輸送するために設計されたウェーハハンドラです。柔軟性、性能、コスト管理が重要な生産ラインに最適です。300FLは、最大300mmウェーハの搬送、保管、加工に協力する一連のコンポーネントから構成されています。E/Oピン、3軸すべての精密な移動を可能にする自動ロボットアーム、ウエハマガジンを装備しており、一度に最大3つのウエハを保持することができます。ウェーハマガジンには、ウェーハを確実に保持するための2つの調整可能なエンドエフェクターもあります。ロボットの位置はエンコーダを使って追跡され、指定した座標に応じて正確にウェーハを配置することができます。連続フィードバックシステムは、ロボットが動作中にウェーハの位置を監視します。ウェーハの損傷を防ぐためには、環境の外気温と湿度を維持する必要があります。また、予期しない停電が発生した場合でも、ウェーハが機械内で安全に保たれるように、バックアップユニットを内蔵しています。安全性に関しては、ASYST 300FLには、ツールがウェーハを損傷しないようにするためのいくつかのセーフガードがあります。これらには、ソフトストップ（物理的な閉塞に遭遇した場合にロボットが物理的に移動を停止する場所）、ロボットが境界を離れているかどうかを検出するスイッチ、およびウエハがロボットに近づきすぎているかどうかを検出するガードゲートが含まれます。このウェハは、インバータと減速ユニットを介してロボットを移動させるダイレクトドライブモーターと、ロボットを手動で移動させるリニアスライドを組み合わせて、位置間輸送されます。ロボットの速度を制御するだけでなく、速度低下もトルクを制御するのに役立ちます。さらに、アクティブなブレーキ機能により、緊急時にロボットを迅速に停止させることができます。最後に、300FLは非常に直感的でユーザーフレンドリーで、使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、ユーザーはウェーハハンドラを迅速かつ効率的にプログラムおよび制御することができます。すべてのメンテナンスおよびサポート要件はASYSTによっても提供され、問題のトラブルシューティングと解決が簡単になります。結論として、ASYST 300FLはよく設計された信頼性の高いウェーハハンドラであり、優れた性能と柔軟性を半導体生産ラインに提供します。ユーザーフレンドリーな設計と安全機能により、最大300mmウェーハの迅速かつ正確な処理に最適です。