中古 ASYST 2150H-VIII #9136633 を販売中

ASYST 2150H-VIII Wafer Handlerは、半導体デバイスのパッケージングおよび加工用に特別に開発された完全自動真空ハンドリング装置です。この最先端のシステムは、インターフェースロボット、真空トラック、ステージモーションユニット、ハンドラー、自動ウェーハアライメントマシンなどの一連のモジュラーコンポーネントで構成されています。インターフェースロボットは、トラックからウェーハを受け取り、ステッパーポストを使用してそれらを整列させ、下のハンドラの適切な位置に配置します。真空トラックは、最大140ウェーハ/分のレートでカセットで最大200ウェーハを受け取ります。その後、ウェーハは真空技術とラッチを使用して吸引とロックの原理を使用してオンボードロボットに転送されます。ステージモーションツールは、リニアアクチュエータ、回転ステージと傾きステージ、シャフトエンコーダで構成される多軸アセットです。このモデルは、トラック機器からハンドラーにウェーハを提供する責任があります。ハンドラ部は最大400個のウェハと2個のピックアップヘッドをサポートし、複数のウェハを同時に搬送できます。自動ウェーハアライメントシステムは、高精度レーザーとアライメントされたリファレンスミラーを使用してウェーハを向けるサーボ駆動機構です。これにより、ウェーハをハンドラのさまざまな段階に正確に配置できます。ウェーハハンドラは、2アームのトランスファーユニットを使用しており、ウェーハにしっかりと固定し、ステージ間で搬送します。腕は正確に動き、ウェーハの正確な位置決め、取り扱い、および整列を可能にします。ロボット、トラック、アライメントマシンはすべて、ウェーハハンドラーの技術2150H-VIII一部であり、高速ウェーハの生産を可能にします。ロボットはシステムの速度を制御し、ツールの制御と精度を向上させます。アセットは、ユーザーが低速プロセスと高速プロセスを切り替えることができるように、可変性機能で設計されています。2150は大容量の製造に適しており、8インチまでの大判ウェハに対応できます。ASYST 2150H-VIIIは、市場で最も先進的なウェーハハンドラであり、半導体業界に最高の精度と生産速度を提供します。このモデルは、ウェーハの生産速度を向上させ、生産プロセス全体をより大きく制御し、信頼性の高い高品質の半導体デバイスの生産を保証します。