中古 ASYST 2150 #145900 を販売中

ASYST 2150はモジュール式で汎用性の高いウェーハハンドラで、半導体業界における自動ウェーハハンドリングアプリケーションのニーズを満たすように設計されています。2150は高速で効率的で精密なウエハハンドラで、直径150 mmまでの基板に対応できます。ASYST 2150は水平または垂直の生産ラインに取付けられ、統合することができます。アクセスを容易にするために、2150には人間工学に基づいたリフト機能またはチルトフレームオプションを装備することができます。また、ユーザビリティを向上させるためのオプションのタッチスクリーンコントロールパネルも備えています。さらに、エンクロージャは、ほこり、機械的応力、および静電気放電から保護するように設計されています。ASYST 2150は、超精密な位置決めのための高分解能リニアモータで設計されています。このモータは、最大4軸の動きと最大10cm/sの速度を処理することもできます。2150は、アクション駆動型の高速ウェーハトランスポートテクノロジーと独自の「EZ-Lift」メカニズムを採用しており、シングルウェーハまたはマルチウェーハトランスポートシステムに対応しています。このシステムは、製造上の欠陥やスクラップレートを低減するために最適な精度を提供しながら、サイクルタイムを短縮します。ASYST 2150には、効率的なマルチウェハローディングとアンロードを提供する安全なパススルートトッププレート・コンベアもあります。2150にまた信頼できる性能を保障する多数の安全および監視選択があります。オプションのソフトウェアベースのストレスコントロールシステムは、ウェーハの負荷を均一な応力で監視し、ウェーハのハンドリングが安全で安定していることを保証します。さらに、ASYST 2150には、オプションのアラーム付きの障害検出システムが内蔵されています。これにより、オペレータはあらゆる障害をすばやく検出し、適切な是正措置を講じることができます。全体的に2150は、多様な基板に対応できる信頼性と効率の高いウェハハンドラです。モジュラー構造と堅牢な機能により、自動ウェハハンドリングアプリケーションに最適です。利用可能なオプションの範囲で、それは簡単にセットアップし、信頼性の高い操作のための既存の生産ラインに統合することができます。