中古 ASYST 15534-001 #9162951 を販売中
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ASYST 15534-001は、さまざまな半導体生産環境で使用するために設計された高性能ウエハハンドラです。このウエハハンドラは、8インチと12インチのウエハサイズに適しており、最大300mmのカセットに対応できます。15534-001は、ウェーハの薄型化、ダイシング、成膜、リソグラフィ、ウェーハプロービングなどの先進的な生産プロセスで使用するために設計された自動ウェーハレベルの材料処理製品です。高い位置決め精度と再現性により、ウェーハの正確な位置合わせと配置が可能です。このハンドラは、各転送中に一定のモニタリングとジオメトリ検証が可能であり、信頼性の高いウェーハ処理を保証します。また、高性能な通信システムを搭載しており、正確なリアルタイムのデータ収集と分析が可能です。ASYST 15534-001は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスで設計されています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、ユーザーは個々のアプリケーション要件に応じてレシピを迅速かつ簡単に作成および変更できます。広範なプログラミングメモリは、プロセスを実行するために必要なレシピのセットアップとステップ数を簡素化します。直感的なディスプレイにより、パラメータを簡単に管理でき、ほぼ無制限のレシピを保存して簡単に呼び出すことができます。このシステムは、レーザーマーキング、スクリーン印刷、リードマーキングなどの複数のラベル印刷アプリケーションをサポートするように設計されています。また、サイズ、色、または他の基準でウェーハを分離するためのウェーハソート機能も含まれています。15534-001は信頼できる操作のための安全特徴の範囲と設計されています。安全ロックアウトにより、ユーザーはハンドラの動作中にチャンバー領域に入ることができません。統合された緊急停止制御により、ハンドラーは迅速かつ安全に停止します。さらに、ユニットを取り巻く広いエンクロージャは、優れたメンテナンスとクリーニングを保証します。すべてのオペレータは機械の使用の前に誘導されなければならず、すべての維持は修飾された人員によって行われなければなりません。ASYST 15534-001は、幅広い半導体生産アプリケーションに適した機能を備えた信頼性の高い高性能ウエハハンドラです。ユーザーフレンドリーな制御と強力なリアルタイム通信システムで設計されており、正確な制御と信頼性の高いパフォーマンスを提供します。その安全機能と直感的な操作の範囲で、15534-001は半導体製造業界のための理想的な選択肢です。
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