中古 ASYST 12000-026 #293639866 を販売中

ASYST 12000-026は、半導体プロセスチャンバ、FOUPクリーナー、リソグラフィ、CMP、およびその他の湿式/乾式プロセス装置で使用するために設計されたウェハハンドラです。クリーンルーム環境でのウェーハの信頼性と正確な取り扱いを提供するように設計されています。12000-026は、ロボットアームを使用してウェーハを処理チャンバーとの間で輸送します。輸送中のウェーハを保護するためのアルゴンガスの流れと、最大36個の完成ウェーハを安全に保管するための調整可能なコンテナ設計が特徴です。ASYST 12000-026は耐久性および正確さを保障するためにステンレス鋼フレーム、ポリプロピレンウエハートレイおよびポリカーボネートガイドと造られます。ウエハートレイはポリプロピレン材料で作られており、腐食に耐え、ウェハを確実に所定の位置に保持することができます。調節可能なトレイは、異なるウエハータイプとサイズに対応する柔軟な高さ設定で設計されています。ガイドは強く、耐久であり、腐食に非常によく抵抗するポリカーボネート材料から成っています。12000-026のロボットアームは滑らかで正確な操作のために設計されています。水平および垂直アームは位置を検出するセンサーを備えており、ウェーハの正確な移動と搬送を可能にします。故障率が低い場所から別の場所に安全にウェーハを転送することができます。さらに、アームは振動を低減するように設計されており、ウェーハが移動中も確実に所定の位置に保たれるようにする必要があります。ASYST 12000-026には、搬送中にウェーハを保護するためのアルゴンガスの可変流量もあります。内蔵のフローコントローラにより、流量を正確に制御し、アルゴンの適切な量を使用して汚染を防ぎます。さらに、12000-026は、最大36個の完成ウェーハの安全な保管のための調整可能なコンテナ設計を備えています。その調節可能なトレイの設計は最大の柔軟性を可能にし、さまざまなウエハーのサイズおよびタイプを貯えるのに使用することができます。優れた設計を完了するために、ASYST 12000-026は直感的なユーザーインターフェイスを備えており、操作が簡単です。ユーザーフレンドリーな設計により、スムーズで自動化された操作を可能にし、ダウンタイムを削減します。全体的に12000-026は、クリーンルーム環境で使用するために特別に設計された高性能ウエハハンドリングロボットです。プロセスチャンバーと貯蔵容器の間のウェーハの正確な取り扱いと移動が可能です。防振設計、調節可能なトレイ設計、アルゴンガスの可変流量などの特徴により、安全で信頼性の高いウェーハ輸送を実現します。ASYST 12000-026はあらゆる半導体プロセス部屋かぬれた/乾燥したプロセス装置のための大きい選択です。