中古 ASYST 12000-004 #9111130 を販売中

ASYST 12000-004は、半導体製造プロセスにおけるウェーハスループットの向上、高精度、およびプロセス制御の向上を目的とした先進的なウェーハハンドラです。このウェーハハンドラは、最新世代の低摩擦ドライブ技術を搭載しており、ウェーハの搬送や動作時に高速な運動性と高い精度を実現しています。この先進的な装置は、CVD、エッチング、リソグラフィ、拡散などの重要な製造プロセスの厳格な制御を容易にするように特別に設計されています。12000-004には8レベルのウェーハストレージトレイがあり、最大600個のウェーハを格納できます。このストレージ容量の増大により、大量生産に不可欠な大量のプリプロセス済みウェーハへの容易なアクセスが容易になります。独自のトレイ設計により、バッチ処理されたウェーハを迅速に組み換え、迅速かつ正確な後処理を行うことができます。このウェハハンドラは、より高速で正確なウェハハンドリングを容易にするために、ロボット周辺機器の完全な配列を備えています。このシステムのエンドエフェクタには、リフト、ウェーハスタック、ウェーハバッキングプレート、CVD、エッチング、リソグラフィ、拡散プロセスのステージが含まれます。エンドエフェクターは、最高の精度と密接に制御されたウェーハの転送と動きのために設計されています。ASYST 12000-004には、産業用コンピュータ、拡張可能なソフトウェアパッケージ、統合ケーブル、および電磁ボビンアクチュエータも含まれています。安全性と保護性を高めるため、ユニットには安全インターロックが内蔵されています。この安全ロックは、動作中に異常な状態が検出された場合、自動的にウェーハの取り扱いを中止するように設計されています。また、緊急事態やシャットダウンが発生した場合の機械の制御動作も保証します。12000-004には、ツールのパフォーマンスに関する貴重なフィードバックを提供し、製造プロセスで発生する可能性のある問題を特定するための包括的な診断セットが装備されています。診断LCDスクリーンはまた資産の性能および健康を見直し、重要な通知および警報を表示します。性能面では、0。3ミクロン±の許容誤差でウェーハの位置決めが可能です。高度なモーションコントロールモデルにより、高速かつ正確なウェーハ移動を実現し、機器の動作範囲は260 mm （X軸）、 180 mm （Y軸）、 115 mm （Z軸）です。また、このシステムのサイクルタイムは1。5秒未満であり、市場で最も効率的なウェーハハンドラの1つです。ASYST 12000-004は、最高レベルのプロセス制御を確保しながら、正確で高速なウェハハンドリングを提供するように設計された高度なウェハハンドラユニットです。多種多様なロボットペリフェラルデバイス、診断用LCDスクリーン、包括的な診断ソフトウェアを備えています。サブミクロン分解能で高精度なウェーハ動作を実現し、業界最速のサイクルタイムを誇ります。全体として、12000-004は、現代の半導体製造の急速で大量の要求に対応する理想的なウェハハンドラです。