中古 ASYST 0190-11409 #9095774 を販売中

ASYST 0190-11409は、半導体業界で使用するために特別に設計されたウェハハンドラです。このデバイスは、リソグラフィ処理中にウェーハを迅速に移動させる効率的な方法を提供します。それはさまざまな種類のウエハサイズ、厚さおよび基質材料を支えることができます。0190-11409は厚さの直径25「までおよび0。25」までの基質を扱うことができます。96ウェルフラットと5〜8インチのウェーハフラットを最大200mm/secの速度でサポートするように設計されています。これは、単一またはデュアルチャックで使用することができます。デュアルチャックは、複数のサイズのウェーハを処理する際に、より高いスループットを提供します。また、4つの小さなフラットまたは1つの大きなフラットのアプリケーションをロードするための手動転送をサポートしています。ASYST 0190-11409は、ステッピングモーターを使用してウェーハの動きを駆動します。このモーターはブラシレスサーボモーターによって動力を与えられます。センサーと制御システムは設計に統合されており、さまざまな条件を検出して応答することができ、ウェーハを移動しながら正確に制御することができます。0190-11409はプログラミングのためのユーザーフレンドリーなインターフェイスを含んでいます。これには、リソグラフィープログラムを設定するためのセットアップメニューと、コマンドを入力するための表示とキーパッドが含まれています。このハンドラは、あるチャックから別のチャックにウェーハを転送したり、あるボウルから別のボウルにウェーハを移動したり、ウェーハをステージの上下に移動したりするために設定できます。ASYST 0190-11409には、電流、温度、トルクを監視する堅牢な安全システムが含まれています。また、ウェーハの表面の変化を検出して応答する自己校正センサーも含まれています。0190-11409はまたESD敏感な適用の使用のためにESD安全であるように設計されています。全体的なASYST 0190-11409ウェーハハンドラは、ウェーハの迅速かつ正確な転送を提供する信頼性の高い効率的な機器です。使いやすいインターフェイスと堅牢な安全システムにより、半導体業界での使用に最適です。