中古 ASYS LSB03 #9000005 を販売中

ASYS LSB03は信頼性の高いウェーハハンドラで、最大300mmのサイズのウェーハを輸送および配置するように設計されています。ウエハの全自動操作装置を採用し、さまざまなサイズや厚さの基板を搬送することができます。このシステムは、ウェーハ配置の優れた精度と再現性、および高速スループットと長寿命を確保するように設計されています。専用のロボット駆動アームを採用したピックアンドプレイトランスファーヘッドを装備し、各ウェーハを確実にピックアップしてウェーハカセットトレイに収納します。ピックアンドプレイスロボットは、カスタム設計された高速ビジョンマシンを使用して、カセット内の正しいウェーハを正確に識別し、ロボットアームに関連する基板の正確な位置を決定します。ウェーハは毎分100〜300個の割合で正確にチャンバーに配置され、位置決め精度は0。02mm未満です。ASYS LSB 03には、環境汚染からウェーハを保護するためのガスタイト蓋も装備されています。必要に応じてウェーハを安全にグリップするために真空ツールを統合し、ウェーハ周辺に一連の圧力センサを配置して正確かつ再現性の高い配置を実現します。オプションの冷却アセットにより、基板の高速冷却および温度制御分布が可能です。これにより、複数のウェーハを1つの冷却板に同時に配置できるため、冷却に必要な時間が短縮されます。LSB03は非常にユーザーフレンドリーで、グラフィカルユーザーインターフェイスと直感的なコントロールを備えた15インチカラータッチスクリーンディスプレイを備えています。このモデルは、既存のASYSオートメーションソリューションと統合されるように設計されており、追加の機能と効率性を提供します。また、この機器はリモート診断とメンテナンスをサポートし、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。LSB 03は、半導体の生産やウェハレベルの統合など、迅速かつ正確なウェハハンドリングを必要とするアプリケーションに最適です。このシステムは、高スループット、生産性の向上、およびより高い精度を可能にします。それはクリーンルームおよび真空の適用の使用のために適して、単一および二重腕の構成で利用できます。