中古 ASML AWH MK3 #9262329 を販売中

ASML AWH MK3は、半導体製造業界で使用するために設計された先進的なウエハハンドリングマシンです。精度、スピード、信頼性を考慮して設計されており、薄くスライスしたシリコンウェーハを加工チャンバから積み降ろしするプロセスを効率的かつ迅速かつ一貫して行うことができます。AWH MK3は、高度なロボットウェーハハンドリングメカニズムを備えており、加工チャンバのマンドレル上にウェーハを正確かつ高速に配置することができます。ロボットマニピュレータは、3リンクロボットアーム、7軸ポジショニングメカニズム、および積み下ろし時のウエハの位置を正確に検出する装置で構成されています。ASML AWH MK3には、赤外線カメラ、レーザー変位センサー、イメージプロセッサなどの高度なセンサーが搭載されており、操作中にマンドレル上のウェハの位置を正確に検出するために使用されます。また、AWH MK3には先進的なウェーハ搬送装置が装備されており、ウェーハ製造設備から加工エリアへのスムーズで迅速なウェーハ搬送が可能です。高速ローラーユニットにセンサーを搭載し、衝突を防止するレーザーセンシング技術を搭載しています。1サイクルにつき最大8基板を積み降ろすことができ、大量生産のニーズに最適です。さらに、ASML AWH MK3は、最先端の安全機能を備えて設計されています。これには、危険な電気事故を防ぐために、すべての電気エネルギーを積み下ろしシステムから隔離するエネルギー絶縁ツールが含まれます。また、ロボットアームが故障した場合の移動を防止するフェイルセーフ機能も備えています。AWH MK3には、幅広いグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されており、ユーザーは簡単にマシンの動作を監視、制御、および維持することができます。これには、直感的でユーザーフレンドリーでインタラクティブなグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた「タッチスクリーンモニター」が含まれており、ユーザーは簡単に資産を維持、構成、校正することができます。マシンはまた、オートメーションソフトウェアパッケージの広い範囲とモデルのリモートアクセスと制御を可能にするネットワークインターフェイスと互換性があります。ASML AWH MK3の性能、信頼性、安全性を最大化するために、診断およびメンテナンス機能の包括的なシステムが機器に統合されています。これには、システムの性能を検証するためのセルフテスト機能、正しい動作パラメータを設定するための自動キャリブレーション、ユニットの故障や故障を検出するためのアラート表示機能が含まれます。AWH MK3は、半導体製造業界の厳しいニーズに対応して設計された、高度で信頼性の高いウェハハンドリングツールです。高い精度とスピード、包括的な安全機能、直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーはウェーハを簡単かつ自信を持って正確にロードおよびアンロードすることができます。