中古 ASML 4022.480.1707 #9262326 を販売中

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ASML 4022.480.1707
販売された
ID: 9262326
SCARA Robot.
ASML 4022。480。1707は、基板やウエハを加工するための集積回路製造に使用されるウェハハンドラです。このツールは、基板とウェーハを製造工具内と製造工程の両方でロード、アンロード、転送するプロセスを自動化するために設計された汎用性の高いツールです。このウエハハンドラはあらゆる生産ラインにおいて不可欠な部品であり、作業者は手作業を最小限に抑えながら、迅速かつ正確に生産ツールを切り替えることができます。ウエハハンドラはインターフェイスと真空リフトで構成されています。このインターフェイスは、真空リフトを操作し、動きを制御し、生産ツールと通信するために設計されています。複数のモーター、エンコーダ、サーボモータ、およびハンドラの動きを制御するために使用される電気機械部品のホストで構成されています。リフトには、2つのリニアアクチュエータと2つのロータリーアクチュエータ、およびいくつかの真空吸引が装備されています。これらのコンポーネントは、最大200kgの牽引力を提供することができ、ハンドラーは正確かつ正確にウェーハを確実にピックアップして転送することができます。これらの強力なモータにより、ハンドラは最大60mm/sの速度を達成することができ、基板とウェーハの迅速な転送を可能にします。機械部品に加えて、ASML 4022。480。1707には、いくつかのハイテク電子機器およびソフトウェアアプリケーションも含まれています。本番ツールに接続するためのイーサネットポートと、信号の送受信が可能な複数の接続インタフェースを備えています。また、複数のI/O信号を備えており、他の生産ツールやPLCとの情報交換が可能です。また、ウエハハンドラには、複雑なタスクでの動きを調整するように設計された、いくつかの組み込みのモーションコントロールアルゴリズムもあります。ASML 4022。480。1707は、迅速かつ正確な基板およびウェハ転送プロセスを容易にするだけでなく、さまざまな安全機能を提供します。位置検出システムを搭載し、障害物を認識し、機器やハンドラ自体の損傷を防止します。また、ウェーハハンドラには温度を監視するシステムと、負荷領域の追加保護システムが装備されており、安全な作業環境を確保しています。全体として、ASML 4022。480。1707ウェハンドラは、あらゆる集積回路生産ラインで不可欠なツールです。その汎用性の高い設計により、基板とウェーハの正確かつ迅速なロード、アンロード、転送が可能になり、高度な制御アルゴリズムと安全機能により、プロセスが効率的で信頼性が高いことが保証されます。
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