中古 ASM WLM 6200 #9380444 を販売中
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ASM Wafer Loader Model 6200は、半導体製造に使用するために設計された先進的なウェーハハンドラです。ウェハハンドラとして、半導体ウェハーを安全かつ効率的に保管、操作、輸送するように設計されています。このモデルは、ウェーハの正確な取り扱いを確保するために、高級材料で構成されています。また、モジュール性が高いため、様々な用途でご利用いただけます。ASMウェーハローダーモデル6200は、さまざまなサイズのウェーハを操作および輸送できる自動デュアルキャリア装置を使用しています。このシステムは、エレベーターキャリアとカセットキャリアの2つのウェーハキャリアで構成されています。エレベーターキャリアは、ウェーハを所定の荷重高に引き上げるように設計されています。カセットトランスポートキャリアは、ある処理領域から別の処理領域にウェーハを移動するように設計されています。このユニットは、静電気に対して絶縁されたサーボモータによって駆動され、ウェーハの損傷を防ぎます。ASMウェーハローダーモデル6200は、潜在的なインシデントを防止するための複数の安全メカニズムも備えています。これには、ウェハや異物がキャリアの動きを妨害しているかどうかを検出する複数の光学センサーが機械全体に含まれます。さらに、このツールは、ウェーハへの意図しないアクセスや損傷を防ぐために、輸送前、輸送中、および輸送後にキャリアを直立位置にロックするように設計されています。ASMウェーハローダーモデル6200の他の機能には、電源異常時にウェーハをさらに保護するためのモジュラーバックアップベルトアセット、およびダスト汚染を低減する6面ドアデザインがあります。さらに、腐食、水分、凝縮に耐えるように設計されており、最も困難な環境でも使用できます。全体として、ASMウェーハローダーモデル6200は、複雑な半導体製造プロセスのための堅牢で信頼性の高いウェーハハンドラです。モジュール構造、自動化されたデュアルキャリア機器、および複数の安全機能を備えたASM Wafer Loader Model 6200は、高品質のウェハ生産を実現するために不可欠なツールです。
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