中古 ASM DA 139L #9266306 を販売中

ASM DA 139Lは最先端のウエハハンドラで、最大8インチ（200mm）のウエハーに対応できます。ウェーハは、キャリアとウェーハカセットの間で、製造、プロセス開発、運用などの複数の目的でウェーハを転送するように設計されています。このユニットは、IE-4500RロボットとEcoPlate （TM）ウェーハハンドリングプラットフォームを備えており、一度に最大4つのウェーハの移動および位置決め機能を提供します。また、自動的にカセット内のウェーハの地図を作成し、ウェーハロット間の迅速な切り替えを可能にするオートローダーソフトウェアが含まれています。基板固有のレシピを即座に変更できるため、バッチ間のダウンタイムを短縮できます。DA 139Lは2つのカセットが装備されています；；CLM-1300は連続的なカセットローダー/アンローダーであり、CW-1300はサブスプリットカセットローダー/アンローダーです。CLM-1300は高速50ウェーハローダーとアンローダーを備えており、片面または両面ウェーハキャリアに使用されます。CW-1300sub-splitカセットローダー/アンローダーは、メインカセットとサブスプリットカセット間の基板移動に使用されます。このユニットは、追加のアダプタやカバーなしで、最大2つの8インチ（200mm）のウェーハに対応できます。さらに、CW-1300のユニークな特徴は、最大5台のウェーハキャリアを一度に輸送することで、貴重な時間を節約し、全体的なコストを削減することです。ASM DA 139Lには、モーションセンサーを使用してロボットアーム上の異物の影響を検出し、すぐに止める電気感受性保護装置（ESPD）など、いくつかの安全機能も含まれています。また、過負荷センサーや、外部からの汚れや干渉を防ぐ冗長ロボットアームスカートも搭載しています。オーバーオールのDA 139Lは、信頼性が高く、費用対効果が高く効率的なウェハハンドラとして設計されています。このシステムは、既存のウェーハ処理システムに容易に統合できるように設計されており、複数の基板処理タイプとの互換性、構成可能なオリエンテーションとハンドリングモード、および構成可能な自動シーケンスなど、幅広い機能を提供します。ASM DA 139Lは、ユーザーに最高の効率と生産性を達成するのに役立つ信頼性の高い強力なシステムを提供します。