中古 ASM DA 139F #9266304 を販売中

ASM DA 139Fは、直径300mmまでの基板を安全かつ効率的に移動、回転、転送、および加工するために設計された最先端のウェーハ処理装置です。ハードウェアとソフトウェアの高度な組み合わせを使用して、より高いスループットと高度なプロセス制御をユーザーに提供します。このシステムは、複数の基板を同時に処理するように設計されており、シリコン、セラミックス、金属を含むすべての主要なウエハーおよび基板タイプと互換性があります。このマシンには、2つの負荷ポート、高速プラットフォーム、および基板の温度を制御するために使用される冷却ファンが含まれています。ロードポートには、ロープロファイルステージラック（LPR）が装備されています。これにより、基板を正確な位置に配置することができ、基板の積み下ろし時の精度が向上します。高速プラットフォームは、異なる基板サイズに対応するように調整可能であり、毎秒最大1。5度の基板加工または回転が可能です。このユニットには、基板を正確にプログラムされた位置にピックアップして配置するロボットアームも含まれています。基板の取り扱い、高精度な回転、製品選別など、さまざまな作業が可能です。ロボットは、基板間の衝突の可能性を検出することができ、接触を避けるために適切な措置を講じます。この機械はエンドエフェクター不可能性があり、さまざまなメーカーのさまざまなエンドエフェクターと互換性があります。制御ツールに統合されたソフトウェアスイートにより、ユーザーはニーズに合わせてオペレーティングシーケンスをカスタマイズし、資産パフォーマンスを効率的に監視できます。温度と湿度のモニタリングは、プロセスが所望の温度範囲内にとどまることを保証し、基板への損傷を避けるのに役立ちます。さらに、このモデルには、電力損失や障害が発生した場合の自動シャットダウンなど、多数の診断および安全機能が装備されています。装置はまた、すべての処理パラメータの記録を維持し、利用可能な操作の包括的なライブラリを提供します。要するに、DA 139Fは信頼性の高い効率的な基板処理を行うように設計された最先端のウェーハ処理システムです。このマシンは、堅牢なロボット工学、カスタムソフトウェア、最新の診断および安全機能で構築されています。このユニットは、コストとリスクを最小限に抑えながら、最大のスループットと品質を提供するために独自に設計されています。