中古 ASIA PRS-800A #9144678 を販売中

ASIA PRS-800Aウェハハンドラは、最大8インチ径のウェハトランスファーまでの効率的で信頼性の高いマテリアルハンドリングアプリケーション用に設計された自動コンポーネントです。全自動ピックアンドプレイスロボット装置と柔軟な構成を備えた高性能ツールです。これにより、さまざまなウエハサイズを取り込み、さまざまなアプリケーションに一貫した精度とスループットを提供できます。このハンドラーには、基板を握って次のステーションに移すためのエンドオブアームツーリングが装備されています。これにより、正確で反復可能な基板処理が可能になります。また、オプションのfiducialマーカーを備えた完全に統合されたビジョンシステムを備えており、正確で反復可能な基板配置を保証します。PRS-800Aウェーハハンドラは、最大1200mm/sの速度で8インチのフルウェーハを転送することができます。また、ASIA PRS-800Aは、ウェーハの搬送とリロードのプロセス全体にわたって正確な温度制御を可能にする統合温度制御ユニットを備えています。これは、独自のプロセスのニーズに熱伝達性能を最適化するために独立して制御することができる3つの温度ゾーンを備えています。PRS-800Aは安全を念頭に置いて設計されています、保護障壁および軽いカーテンを持っています。これは、ハンドラーが安全に動作し、事故を回避することを確実にするのに役立ちます。さらに、このマシンにはイーサネットインターフェイスも内蔵されており、ローカルネットワーク内の任意のコンピュータからリモート監視と制御が可能です。ASIA PRS-800Aウエハハンドラは、幅広い用途において一貫した再現性と精度を提供するために設計された、効率的なマテリアルハンドリングソリューションです。設定可能な温度ゾーンとフィデューシャル検出を備えたビジョンマシンで正確な温度制御を提供します。さらに、安全操作を確保するための安全機能と、リモート監視と制御のための組み込みのイーサネットインターフェイスを備えています。