中古 AMAT / APPLIED MATERIALS VHP #293664316 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS VHP （Vacuum Handler Platform）は、半導体製造環境で使用するために設計された高性能ウエハハンドラです。AMAT VHPは、ウェットベンチ、スピナー、エッチャー、金属成膜ツール、その他の真空システムなどのプロセスツール間で200mmおよび300mmウェーハの転送を提供します。このシステムは、バキュームグリップヘッドを使用して、バキュームウェーハの転送を防止し、ビジョンベースのアライメントツールを備えており、すべての転送サイクル中に正確に中央に配置されたウェーハを提供します。アプライドマテリアルズVHPは、複雑な集積回路を製造するための幅広いプロセス機能を提供します。モジュール式でスケーラブルな設計により、回路製造ワークフローで特定のプロセスのシステムを簡単に構築できます。この柔軟性と拡張性は、スピナー、ドライエッチプラズマ、イオンインプランター、ダイレクトライトツールなど、複数のプロセスツールを同時に制御するVHPの機能によって強化されています。この自動制御機能により、システムを迅速に構築し、高スループットと低コストを実現できます。安全面では、AMAT/APPLIED MATERIALS VHPには、緊急停止ボタン、acut off monitoring and notification process、緊急避難制御、ハードウェアおよび警報システムなどの標準的な安全機能が含まれています。さらに、AMAT VHPは、強制空気、クリーンルーム空気流量システム、フィルター空気換気オプションなどの追加の環境安全システムで構成することができます。APPLIED MATERIALTS VHPは、比較的小さなフットプリントに多くの電力をパックします。Control Systemには、ディスプレイモニター、RS-232およびイーサネット通信インタフェース、およびプログラミングソフトウェアを備えた市販のPLCが含まれています。また、ウェーハハンドラは、片面および両面ウェーハに対応するための幅広い電源および電圧要件を備えています。VHPは、生産運転に優れた使用率と安全性を費用対効果の高い方法で提供するように設計されています。このシステムは、大量のウェーハを高スループットで処理するように設計されていますが、さまざまな処理ニーズに柔軟に対応できます。堅牢な設計と信頼性の高い性能を備えたAMAT/APPLIED MATERIALTS VHPは、半導体やその他の先進的な製造プロセスに最適です。