中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Rorze RR6140 #157593 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALIES Rorze RR6140は、ファブでのウェーハの効率的で信頼性の高いハンドリング用に設計された多機能プレアライナーおよびウェーハハンドリング装置です。ウェハランおよびフィードシステムでウェハーを正確に輸送およびインデックス化するために使用されます。RR6140は、オンボードおよび自律コンピュータ制御、PLC、タッチパネルを備えた完全自動化されたユニットです。この装置は、2つのロボットアーム、多軸プリアライナー、ウェハセンシングシステム、および制御ユニットで構成されています。直感的なインターフェイスにより、プレアライナーとウェーハの処理機能を迅速かつ簡単に操作できます。RR6140の6軸ロボットアームには、それぞれ大きなグリッパーと小さなグリッパーが装備されています。腕の独立した動きはフルレンジの操作および配達機能を提供し、ウェーハの速く、精密なローディングおよび荷を下すことを可能にします。アームは、アプリケーションの要件に応じて、一緒にまたは独立して動作することができます。多軸プリアライナーはRR6140のコアです。ウェーハの位置を検出し、オペレータにウェーハのサイズと位置に関連する正確なデータを提供するように設計されています。このデバイスは、特殊なセンサーユニットを使用して、ウェーハの寸法、方向、およびスキューを正確に測定します。これらの測定結果は、ウェーハの均一で対称的なプリアライメントの適切な位置を決定するために使用されます。RR6140はクリーンルーム操作に最適化されており、防塵シール構造と取り外し可能なインナーパネルを備えた400mmトランスファーアームが含まれています。また、ウェーハの取り扱いやパラメータ異常を監視するエラー検出機も内蔵しています。このユニットには、ウェーハステータスを確保するために使用されるSMIFチャンバーが装備されています。このRR6140は、ISO 13485およびCSA認証を満たしており、ミッションクリティカルなウェーハ製造作業における長期的な耐久性と信頼性を保証するように設計されています。このデバイスは、業界最先端のプロセス環境との互換性のために最適化されており、迅速なセットアップと容易な実装のために構築されています。全体として、AMAT Rorze RR6140は革新的で信頼性の高いウェーハハンドリングソリューションであり、ウェーハランおよびフィードシステムでウェーハを正確かつ効率的に輸送できます。直感的なデザインと使いやすさにより、ウェーハの製作作業に最適です。