中古 AMAT / APPLIED MATERIALS FABS-202 #9166885 を販売中
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ID: 9166885
Wafer transfer station
APPLIED MATERIALS Endura etcher system
RORZE
Type no: OCRR8151-001-001
(10) Axes
RORZE Robot
Type no: RR700L120-Z30-011
RORZE Robot controller
Type no: CURR-1076-2.
AMAT （APPLIED MATERIALS ）/AMAT/APPLIED MATERIALIES FABS-202ウェハンドラは、半導体ウェハーを高温船の引き出しや炉に高速かつ正確に積み込むために設計された、モーター式の真空処理装置です。このシステムは生産および実験室製造の両方のための理想的な選択です。AMAT FABS-202は、信頼性の高いウェーハツーチャックアライメントを備えた統合真空ハンドリングユニットを備えています。ワンショットウェハローディングとアンロード機能により、迅速なローディングと位置調整が可能になり、正確なアライメントが保証されます。真空機械は、調整可能なモータ速度制御によって駆動され、さまざまなチップサイズとタイプのカスタマイズ可能なウエハハンドリングを可能にします。独立した真空ツールは、カスタマイズされたグラウンドルールを可能にし、プラットフォームとの間で個々のウェーハの効率的な移動を促進します。APPLIED MATERIALS FABS-202には、プロセス固有のローディングパラメータを設定し、時間を節約し、精度を高めるために使用できる「グランドルール」機能も含まれています。また、完全に調整可能な停止を追加して、ウェーハのローディングプロセスを合理化するように設計されています。ウェーハの出し入れ時間を短縮し、複数のウェーハを並列処理することができます。このユニットは非常に低いプロファイルを備えているため、生産フロアに簡単に設置できます。FABS-202には、ウェーハの高さを正確に制御するためのデジタル制御Z軸が付属しています。グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）により、直感的な操作とパラメータの表示が容易になり、ユーザーは設定をすばやく調整して最適なパフォーマンスを得ることができます。また、炉の温度があらかじめ設定された限界を超えると遮断されるオートセンシング機能も備えています。このアセットには、緊急停止ボタンも含まれており、ユーザーは緊急時にモデルをシャットダウンすることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS FABS-202は、アニーリング、プロクセスウィンドウ作成、高温損傷試験など、さまざまな熱処理に使用できます。この装置には、温度に対する自動保護、より低いモータのシャットオフ、EMIシールドモータ、および低レベルの電圧切断など、さまざまな安全機能が装備されています。さらに、AMAT FABS-202はCEが承認され、ISO 9001規格と互換性があり、強力で信頼性の高いデバイスであり、最大限のセキュリティと信頼性を提供します。
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