中古 ADEPT S800 #9266596 を販売中

ADEPT S800ウェーハハンドラは、エピタキシャル成長や再生などの高温プロセス用に設計された完全自動化リニアウェーハ搬送装置です。200mm、 300mmを含む複数のサイズのウェーハを、超低温プロファイル変動と最大精度で再現可能な方法で処理するための費用対効果の高いソリューションを提供します。S800は部品および部品への便利なアクセスを可能にするモジュラー線形設計と造られます。密閉されたオープンフレーム設計で、露出領域がないため、ウェーハ輸送用途において正確かつ一貫した温度制御が可能です。このシステムは、電動リニアトランスポートモジュール、レール、および正確なウェーハ移動のためのガイドシステムで構成されています。トランスポートモジュールには、高性能、低温ブラシレスモータ、およびクローズドループのフィードバック制御用の高解像度エンコーダが装備されています。また、温度プロファイル精度を向上させ、変動を低減するように設計された高度な制御装置を搭載しています。このツールは、PCベースのデータロギングとトラッキングアセットを統合しており、オペレータはウェーハの動きを監視および制御し、ウェーハ温度プロファイルを追跡し、リアルタイムでデータを分析することができます。制御モデルは、半導体、MEMS、 3D印刷など、さまざまな用途に対応するためにカスタマイズすることができます。ADEPT S800は、迅速かつ正確なウェーハ輸送を容易にするための多種多様な機能を提供します。自動切断およびサイズ検出システムは、搬送トレイにウェーハを正確に識別して配置します。また、ダイナミックなバックプレスコントロール、加熱されたファイバーチャンバー、および不活性な雰囲気の必要性を排除するドライボックスカバーも備えています。統合されたウェーハローダーとアンローダーにより、同一システム上でのハイスループットウェーハトランスポートが可能です。ユニットは、稼働時間を増やし、手動処理を削減し、安全性を向上させるように設計されています。S800は、高温ウェハハンドリングアプリケーション向けの信頼性と費用対効果の高いソリューションです。高度なウェーハトランスポート機能により、このマシンは、多くの要求の厳しいプロセスをサポートするために必要な最高レベルの精度、信頼性、再現性を提供します。