中古 ADEPT Cobra S600 #9227425 を販売中

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ID: 9227425
Robot arm.
ADEPT Cobra s600は、半導体デバイス製造用に設計された高精度ウェハハンドラです。直径600mmまでのウェーハの積み下ろし、搬送が可能です。大量のクリーンルームやオートメーションシステムなど、さまざまな生産環境での使用に適しています。Cobra s600は完全なロボットアームに基づいており、マニピュレータアーム、ボディ、ヘッド、エンドエフェクターアセンブリで構成されています。ロボットアーム自体は陽極酸化アルミニウムで構成されており、高い精度と再現性を提供するように設計されています。アームは3軸--x、 y、 zで動き、正確なウェーハ処理を可能にします。さらに、ロボットアームは最大1。8m/sの速度と最大3。0m/s2の加速に達することができます。これにより、大量生産や半導体デバイスの製造に適しています。ADEPT Cobra s600には、ウェーハを正確に識別できるビジョンシステムも搭載しています。CCDカメラを内蔵しており、検証や品質管理のためにウェーハの画像をキャプチャして保存することができます。このシステムは、ウェーハの位置合わせ、並べ替え、測定など、他のウェーハ処理タスクを実行するようにプログラムすることもできます。強力なロボットアームに加えて、Cobra s600はいくつかの追加機能も提供しています。ロボットアームを外部システムや制御機器に接続するために使用されるフィールドバスを内蔵しています。ADEPT Cobra s600には、Eストップ、真空センサー、衝突保護などの複数の安全機能も含まれています。全体として、Cobra s600は高度なウェハハンドラであり、高い精度と再現性を提供します。さまざまな生産環境での使用に適しており、大量かつ精度の高いウェハハンドリング作業に対応できます。ADEPT Cobra s600は、その性能をさらに向上させるために追加の機能とアクセサリを装備することができ、ハイエンドおよびコストに敏感な半導体製造システムの両方に最適です。
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