中古 ADEPT 840 #135216 を販売中

ADEPT 840は、ウェーハ処理を最適化するための洗練されたマテリアルハンドリング機能を提供するために設計された、最先端の自動ウェーハ処理装置です。このシステムは、最高レベルの品質を維持しながら、生産環境と研究開発環境の両方でスループットを最大化するように設計されています。840は、シリコンウェーハ、薄膜材料、壊れやすい光電子基板など、薄くて厚い基板の供給、転送、選別、検査などの包括的な材料処理機能を提供しています。このユニットは、1時間あたり最大1500個のウェーハを転送することができ、高精度で信頼性の高い基板輸送のための高度なダイレクトドライブ機構を提供します。マテリアルハンドリングマシンは、統合されたモジュール、インフィードモジュール、アウトフィードモジュールで構成されており、過酷な環境下でもウェハを正確に輸送することができます。ADEPT 840は、人間工学に基づいた設計で、精密基板位置決め精度、高速スループット、効率的な動作を実現します。USBやEthernetなどの最新の標準インタフェースをすべて利用でき、マルチベンダー環境で幅広いツールと簡単に統合できます。包括的なツール診断も利用でき、資産パフォーマンスを効果的に管理および分析できます。このモデルは、ウェハハンドラのサイズの面でより柔軟性を提供するように設計されています。2つのシャーシサイズの異なる2つのモデルを提供する840は、幅広いツールに対応するように設計されており、既存のプロセスフローに簡単に統合できます。モジュール設計により、お客様は必要なモジュールのみを選択してインストールすることができ、機器の全体的な設置面積とコストを削減できます。ADEPT 840には、デュアルセーフティドアやセーフティライトカーテンなど、さまざまな安全機能も搭載されています。全体的に、このシステムは、スループットを最大化し、生産および研究開発設定の品質を確保するように設計されています。