中古 ADEPT 840 #116161 を販売中
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ID: 116161
SCARA robot systems
Includes:
Robot arm
Power supply unit
Robot
Controller
Amplifier
Connecting cables
Manuals and sogtware guides (V+)
End effectors not included
Cleanroom sealed
1989-1990 vintage.
ADEPT 840は、ブルックスオートメーションが半導体産業のために設計したウェハハンドラです。ウエハサイズ8までの取り扱いに最適です。840は、研磨されたシリコン、グラウンドシリコン、ガラス、GaAs、金属など、さまざまなウェーハの製造、保管、転送に費用対効果の高いソリューションです。ADEPT 840は、脆弱で繊細なウエハを迅速かつ正確に取り扱い、位置決めするために設計されています。840は、いつでもウェーハの正確な位置を保証するバーコードスキャンシステムとスマートフレームデザインを組み込んでいます。これにより、ウェーハ処理の精度が向上し、処理時間が短縮されます。ウエハセンサーを搭載しており、取り扱い前にウエハのサイズや材質を検出することができます。これは、あらゆる操作が脆弱なウェーハを損傷しないようにするのに役立ちます。さらに、センサーは真空ホルダー機構の障害物を検出し、直ちにプロセスを停止してオペレータに警告します。ウェハハンドラには、ロボットアーム駆動のローダーとアンローダーも含まれており、異なるサイズと材料のウェハーを効率的に拾い上げて移動することができます。真空活性化グリッパーはウェーハの安全かつ迅速な搬送を保証し、自己調整停止およびエッジ保持ツールはハンドリング中の損傷から保護します。ADEPT 840は即刻のフィードバックのためのタッチ画面のデータ記入項目が付いている適用範囲が広い操作のために設計されています。サイズ、ピックアップ力、およびローディング速度を含むプログラマブルパラメータは、特定のウェーハタイプまたはサイズに設定できます。それは完全にエンクロージャ可能であり、より高い安全性と改善されたプロセス条件のための防塵環境を提供します。840はウェーハの分類、一突きおよび場所、緩衝貯蔵および移動操作を含むいろいろなウェーハの処理の適用のために適しています。半導体ファブなどの大量生産環境での使用にも最適です。堅牢で信頼性が高く効率的であり、メンテナンスを最小限に抑え、各プロセスで高い精度を必要とします。全体的にADEPT 840ウェハンドラは、大量生産環境でのデリケートなウェハーの効率的かつ安全な搬送、取り扱い、保管に最適です。多種多様なウエハサイズや素材に対応し、正確で安全なウエハハンドリング作業を実現するための、コスト効率が高く信頼性の高いソリューションです。
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