中古 ADEPT 550 #174547 を販売中

ADEPT 550は、半導体、オプトエレクトロニクス、MEMS関連ファブの両面処理に最適な高性能ウェハハンドラおよび位置決めシステムです。フレキシブルなウェハハンドラで、2〜200mmのウェハサイズに対応し、1〜4個のウェハにも対応可能です。フットプリントが小さく、完全に自動化されたウェーハ工場に簡単に統合できるように設計されています。550はレーザースキャナーを使用して、加工前と処理中のウェーハの正確な位置決めとアライメントを行います。レーザースキャナーは最大5 μ mの光学分解能を調整可能で、このハンドラは分割秒単位で正確に測定することができます。さらにADEPT 550は、信頼性の高い相互作用システムとバランス/アンバランス選択制御によりウェーハを移動/保持する精密真空ヘッドを備えています。これにより、ユーザーはハンドラをリセットすることなく、ウェーハをすばやく変更および交換することができます。550はまた、特定のエンドユーザーのニーズとプロセスに対応するためのコントローラーシステムの選択肢を備えています。利用できる選択はステンレス鋼、非磁気、または活動的な磁気コントローラーシステムです。各コントローラは、特定のプロセス要求に合わせてハンドラを変更および変更する柔軟性を提供します。このウェーハハンドラには、ウェーハの保管および取得に使用できるパレットハンドラも内蔵されています。パレットハンドラは、高速補充のために簡単にアクセスでき、最大48パレットに対応できます。また、メンテナンス活動のリアルタイム監視とトラブルシューティングのためのオンボード診断も含まれています。ADEPT 550は振動のない動きを提供する耐久性とコンパクトなフレームで作られています。ブラシレスDCモーターを搭載し、クローズドループエンコーダを搭載し、精度と再現性を高めています。フレキシブルな設計により、550は既存の生産ラインに効率的に統合できます。直感的なユーザーインターフェイスにより、迅速かつ詳細なパラメータ設定が可能です。ADEPT 550は、3 m2/secの最高速度で、高速アプリケーションに適しており、大量の高歩留まり生産プロセスに最適です。また、ラインスキャン、パターン認識、画像処理など幅広いアプリケーションに対応しています。包括的な保証と堅牢なサポートオプションにより、このウェハハンドラは信頼性の高いパフォーマンスとコスト効率の高いソリューションを提供します。