中古 ADEPT 550 CL #9098490 を販売中

ADEPT 550 CLは、高精度で知られているハイエンドウェーハハンドラです。マイクロエレクトロニクス製造、半導体研究開発など、さまざまな加工ニーズに対応する一貫したハンドリングソリューションを提供するように設計されています。この装置は、自動化されたウェーハ転送用の統合されたリニアドライブロボット、使いやすいHMIタッチスクリーン、およびマルチゾーン環境制御システムを備えており、すべてが人間工学に基づいて設計されたキャビネットに封入されています。このウェーハハンドラは、直径2〜12インチの幅広いウェーハサイズで動作でき、チャックして迅速かつ正確に見つけることができます。また、最大15個のウエハを同時に処理できるため、複数ロット処理に最適です。550 CLには、精密な操作を保証するためのいくつかのメカニズムが装備されています。工具不要のエンドエフェクターを搭載し、入力カセットからウェーハを素早く正確に取り出して配置することができます。さらに、リアルタイムのクローズドループ作動により、ウェーハの変位などの結果を検出してから、スムーズな動作に合わせて位置を調整します。このアセットには、ドリフトを最小限に抑え、不要な塵から保護するために、振動抑制システムを内蔵し、効果的な作業保持のための高度な真空モデルも備えています。また、内蔵のエアパージオプションにより、あるゾーンから別のゾーンに移動する際にウェーハが完全に覆われていることを確認できます。製粉された鋼鉄構造に取付けられて、ADEPT 550 CLは長期耐久性および信頼性を保障するために堅牢に造られます。この装置は、空気または窒素クッション保護により、さまざまな過酷な環境で動作するため、高精度を必要とするアプリケーションに最適です。550 CLは、幅広いアプリケーションにおいて優れた性能と信頼性の高いハンドリングソリューションを提供する高度なウエハハンドラです。統合されたロボット、高度なメカニズム、優れた材料により、ユーザーはシステムを信頼して、ダウンタイムと最大精度を最小限に抑えた標準的なウェーハハンドリングソリューションを提供できます。