中古 ADE / KLA / TENCOR ASC #9005900 を販売中

ADE/KLA/TENCOR ASCは、半導体加工に使用されるウェハハンドラです。これは、半導体デバイスの組立に使用される他の多くの機器だけでなく、ダイボンダー、ワイヤーボンダー、スクライブ、エッチャー、ダイサーなどのさまざまなツールへの基板の一貫した正確な輸送を可能にするユニークな転送機器を利用しています。ADE ASCは半導体産業のために設計された完全に構成可能なウエハハンドラです。ハンドラーに適用に従って容易に変えるか、/またはカスタマイズすることができるさまざまな部品が付いているモジュラー設計があります。これは、高精度で一貫した基板転送を提供する転送システムを備えています。このトランスファーユニットは、部品のサイズのばらつきを減らし、迅速かつ正確に移動できるように設計されています。また、自動的にウェーハを送り加工するコンベア機構を搭載しています。線形・立体移動が可能で、様々な基板積載能力に柔軟性を提供します。コンベア機構は、ウェーハの厚さの変化を感知し、自動的に速度を調整して補償することもできます。KLA ASCには、ウェーハを認識するために使用されるレーザースキャナーも付属しています。さらに、スキャナはウェーハ表面に存在する欠陥や粒子を検出するように設計されています。さらに、ハンドラーには、手動で切り替えることなく複数のツールを処理できる自動ツール交換装置が装備されています。これは、プロセスを大幅にスピードアップし、人件費を削減するため、大量のウェーハを処理するための特に便利な機能です。最後に、TENCOR ASCは静電気および静的保護機械が装備されています。このツールは、異常な電流、高すぎる静電気レベル、および電気パルスを検出し、すぐに資産をシャットダウンするため、ウェハハンドラの適切な機能を保証するのに役立ちます。結論として、ASCは半導体加工に使用される高度なウエハハンドラです。それはそれを生産ラインで使用するための安全で、信頼できる選択にさせる複数の特徴を提供します。高精度で一貫した基板搬送モデルと自動化された工具交換デバイスは、大量のウェハを処理するのに特に役立ちます。さらに、レーザースキャナと静電気及び静電気保護装置は、安全な動作環境を提供し、処理されるウェーハの完全性を確保するのに役立ちます。