中古 YUHIDENSHI UH-I-6200 #9390943 を販売中
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YUHIDENSHI UH-I-6200は、高精度、高性能操作のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体業界の高精度アプリケーションに最適な機械です。高速かつ高精度な研削・ラッピング機能を実現する多軸スピンドルドライブなどの先進技術を活用しています。また、正確な位置決めのための自動化されたタッチセンサーと、ラッピングと研削の両方の操作を簡単に配置およびセットアップするための統合ワークホールディングテーブルを備えています。この機械は、ウェーハ表面と一定の接触を保つaa回転ダイヤモンドプレートで動作します。これは、ウェーハの表面仕上げが均一かつ高精度であることを保証するために行われます。ダイヤモンドプレート自体は、サーボモータによって駆動される電動スピンドルに取り付けられており、正確な送り速度とサイクルを可能にします。これにより、残留応力が低く、表面仕上げが高いことが保証されます。機械にまた全硬化された密封された軸受け構造の手動動きが付いている非常に強い構造があります。スピンドルは硬化炭素鋼で作られ、研削とラッピングディスクの両方が優れたグレードの酸化アルミニウムセラミックから構成されています。この構造は絶えず一貫した粉砕圧力、低い摩耗、低い振動および優秀な研摩の切断率を可能にします。機械には精密デジタルタッチセンサを搭載しており、同じ位置を正確に把握することができ、作業保持テーブルによりラップや研削作業を容易に配置・設定することができます。このテーブルには、ワークピースを確実に固定するための調整可能なサクションカップがあり、その内蔵の振動減衰ユニットは、研削ホイールの完全性と切削の完全性を維持します。UH-I-6200にまた摩擦を減らし、研摩の生命を拡張し、また表面温度を減らし、表面仕上げを改善するように設計されている高出力の冷却機械があります。外部冷却工具により、研削および研磨作業中のウェーハの粉塵汚染をさらに防ぎます。この機械は使いやすく、メンテナンスを最小限に抑える必要があり、高精度の生産要件に対応する信頼性と費用対効果の高いオプションです。セットアップから数分以内に、オペレータは機械を操作してウェーハを粉砕し、磨くことができます。また、200mmから300mmまでの幅広いウエハサイズに簡単に対応でき、高速回転と切断能力を備えています。
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