中古 YUHIDENSHI U-ED-208 #9390956 を販売中
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YUHIDENSHI U-ED-208は、シリコン、ヒ素ガリウム、ガラス、GaN、フォトレジストなど、さまざまなウエハ材料の研削、ラッピング、研磨用に設計された高精度ウエハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、0。0001 mm (1ナノメートル)の精度を達成することができ、最高精度の研磨面を生成することができます。U-ED-208は、DCサーボドライブによって駆動されるACモータによって駆動される高速スピンドルを備えています。このスピンドルは、精密研削と研磨と可変速度制御を提供する2つのテーブルと結合されており、スムーズな動作を可能にします。このシステムには、直径200mmの4つの研磨および研磨プラテンが装備されています。プラテンは5,000から10,000 rpmまでの速度で回転し、セットアップにはオペレータがプロセスを監視するのを助けるタイマーが含まれています。YUHIDENSHI U-ED-208の汎用性は、そのモジュール設計によって強化されています。研削および研磨プラテンを素早く追加、削除、再配置することができ、セットアップを最小限に抑えてさまざまなタイプの操作を可能にします。また、片面または両面処理、およびシリアルまたは並列処理のためのシステムを設定することも可能です。U-ED-208は、研磨剤の範囲とビーズブラスト、研削、およびサンドブラストが可能です。このユニットには、最大200mmまでのウェーハで使用できるように設計された精密なセンタリングを備えた3つの静的ウェーハホルダーが内蔵されています。また、非標準基板に対応可能な特殊ウエハホルダーの取り付けも可能です。YUHIDENSHI U-ED-208は、緊急停止ボタン、低電圧配線、Eストップボタン、および危険粒子から保護する安全プラスチックガードなど、ユニットとオペレータを保護するための安全機能のフルレンジを提供します。U-ED-208は、優れた性能、柔軟性、および優れた安全機能により、半導体、オプトエレクトロニック、MEM、およびCCDでのウェーハ処理作業に最適です。モジュラー設計と幅広いプロセス能力により、精度、スピード、信頼性を備えたさまざまなウェーハ材料の研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。
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