中古 YOKOGAWA / MUSASHINO ELECTRIC MA 400D #9215189 を販売中
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横川/武蔵野電機MA 400Dは、半導体アプリケーションに最適なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。高い生産性と一貫性、優れたオペレータの安全性を備えたウェーハ形状の精度と品質を確保するように設計されています。横川MA 400Dは、200mm、 300mm角のウエハから400mmの丸型ウエハまで、幅広いウエハサイズに対応可能です。この完全に統合されたシステムには、研削およびラッピングセクションと研磨セクションが含まれます。研削セクションは、可変速度のサンドペーパー研削ホイール、集塵用の真空ブラシ、および一貫した研削結果のための専用冷却ユニットで構成されています。ラッピングセクションには、可変速度の大型フラット研削板、ウェーハの素早い積み降ろしのための真空補助プレート積載機、および温度を一定に保つために使用される専用の冷却装置が含まれています。最後に、ポリッシングセクションは、平らで回転する可変速度のポリッシングホイール、ポリッシングフィルムの温度を制御する専用のエアブロワー、およびポリッシングプロセスによって作成されたほこりを集めるための専用の真空コンソールで構成されています。さらに、武蔵野電機MA-400Dは、簡単な操作とメンテナンスのために設計されています。このツールには、簡単なセットアップと操作のための専用のタッチスクリーンコントローラとグラフィックディスプレイ、および診断を簡素化する色分けされた配線資産が装備されています。また、オプションのデータ収集モデルも含まれており、プロセスの安定性を最大限に高めるために、長期的なプロセス追跡とデータ分析を可能にします。横川MA-400Dは全体的に信頼性と高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。繰り返し可能で一貫性のある結果を保証するために、さまざまな機能を備えて設計されており、簡単な操作とメンテナンスにより、半導体アプリケーションでの使用に最適です。
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