中古 YOKOGAWA / MUSASHINO ELECTRIC CS-203 #9311813 を販売中

横川・武蔵野電機CS-203は、精密工学・半導体製造のウェハ研削・ラッピング・研磨装置です。このマシンは、コンパクトで完全に自動化された設計でコンピュータ支援製造の最新の進歩を組み合わせています。横川CS-203は、直径200mmまでのシリコンウェーハ上で、平坦面と曲面の両方を効果的に研削、ラッピング、研磨することで、高い生産率を実現しています。武蔵野電機CS-203は、サポートプレートの上にウェーハを敷いた状態からスタートします。その後、ウェーハはダイヤモンドホイールでプレグランドされ、目的のプロファイルを達成するために調整することができます。その後、ウェーハをダイヤモンド仕上げホイールに移します。車輪は精密な電子工学および半導体の生産のために適したナノメートルレベルの表面の終わりを達成できます。その後、ラッピングプロセスを使用して、ウェーハの仕上げをさらに洗練させます。ダイヤモンドパッドを使用して、研磨スラリーを使用して仕上げ品質を厳格に管理します。研磨工程は、表面平坦性と鏡面仕上げを実現するために使用されます。CS-203は、調整可能な研磨ノズルを備えた精密研磨ヘッドを採用しています。スラリーフィードシステムは、均一な結果を得るための研磨圧力と最適な圧力の正確な調整を可能にします。所望の仕上げが達成されると、スラリーが取り除かれ、ウェーハが洗浄されて研磨残留物が除去されます。横川・武蔵野電機CS-203は、プログラムや操作が簡単で、使いやすい位置設定、制御、監視システムを備えています。さらに、このマシンは、機械的な変更を最小限に抑えて、高速で再現性のあるセットアップとプロセスジョブを実行できます。アームの動きと研削の回転速度には、最適な結果を得るために調整可能な速度範囲があります。内蔵のAuto Tuneユニットにより、マシンは自動的にパラメータを設定し、結果をマシンメモリに保存することができます。横川CS-203は、高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適です。プログラミングと操作の容易さ、迅速なセットアップ時間、正確な結果により、武蔵野電機CS-203は、精密エンジニアリングと半導体生産の困難な要求に対する信頼性の高い、費用対効果の高いソリューションを提供します。