中古 WILSON / ROCKWELL 6838 #9293081 を販売中

WILSON/ROCKWELL 6838は、効率的なシングルレベルおよびマルチレベルのウェーハ処理を可能にするように設計された高性能、マルチタスクウェーハ研削、ラッピング、および研磨装置です。この汎用性の高い機器は、複雑な相互接続やその他の薄型ウェハアプリケーションに最適です。WILSON 6838システムは、研削/研磨チャックと回転インデックステーブルの2つの主要コンポーネントで構成されています。チャックは自己完結型の空気圧装置で、DUST-TIGHTE®ウエハサスペンションリングを搭載したジンバルに取り付けられています。このチャックは、ユニークな空気積載ユニットを使用して、ウェーハ上の一定の張力を維持し、ウェーハの全表面面積での完全な処理を保証します。チャックには可変周波数ドライブ（VFD）があり、最大3000のrpm制御が可能です。また、オートカラー機能やウェーハ搬送用真空機を内蔵しています。ロータリーインデックステーブルは、最大8個の独立したウェーハホルダーを円形に配置し、各操作ごとにウェーハを段階的に回転させ、ウェーハの両側で複数の操作を可能にします。精密なインデックス作成のために、精密なタイミングアセットによって駆動されるステッピングモータツールを採用しているため、すべての処理ステップを正確に実行できます。このモデルには、調節可能な高さとピボット機能を備えたマルチステージ、可変速度転送ロボット、および手動制御またはコンピュータ制御システムとのインターフェースが可能なシングルアーム連結ロボットアームからなる最先端のウェーハサスペンション装置も含まれています。これにより、研磨工程でのウェーハの高精度荷重と取り扱いが可能になります。ROCKWELL 6838ユニットのコンポーネントは、最先端のエンジニアリング技術を容易に統合し、正確かつ再現可能なウェーハ研削、ラッピング、研磨作業を可能にします。研究開発や小規模製造プロセスに最適なソリューションを提供し、半導体業界などの人材に好ましい選択肢となっています。効率的なウェーハハンドリングソリューションにより、手動操作に伴う時間とコストを削減できます。精度に関しては、表面粗さと印象的な基板の均一性を最小限に抑えます。