中古 VOUMARD 5A #9350280 を販売中

VOUMARD 5Aは、MEMS、 SOI、 BiCMOS、 ASICなどのデバイスの製造に使用される静止したフルオートウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムは、デュアルチャンバーで動作するクォーツウェーハキャリアと、1 μ mの表面粗さと50nmの精度で部品を製造できる6軸ロボットマニピュレータを使用しています。単位の中心にウェーハを処理するために適用範囲が広い研磨媒体を利用する精密、低い研摩の粉砕機があります。研削プロセスはモジュール式で、さまざまな種類の研磨プロセスを可能にします。これにより、表面仕上げが安定し、ウェーハの摩耗が減少します。5Aはまた、ウェーハの表面をさらに洗練するために研磨ペーストを使用する高度なラッピングツールを備えています。これにより、ウェハは高い均一性と表面粗さの値を達成することができます。このアセットには、Quick-passという特殊な研磨アプリケーションを利用した研磨モデルもあります。ウエハ表面に非常に光沢のある仕上がりを提供するために使用されます。VOUMARD 5Aは高効率で高精度な装置であり、短期間で高品質なデバイスを生産することができます。また、時間、メンテナンス、エネルギー消費を削減するように設計されているため、全体的に低コストで設計されています。これらの機能の組み合わせにより、5AはMEMS、 SOI、 BiCMOS、およびASICデバイスの製造に最適です。