中古 VEECO / ADVANCED IMAGING Robo 4 #9241333 を販売中

VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4は、ウェーハ遠位ダイシング、加工、研磨のための詳細なイメージング用途において、最も厳しい要件を満たすように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは容易に構成可能なインターフェイスの助けを借りてあらゆる工程に合うようにカスタマイズすることができるモジュラーシステムです。VEECO Robo 4は、速度、圧力、材料除去、プロセス監視などのプロセスパラメータを優れた制御を提供するように設計されています。強力な5軸モーションコントローラと5つのローターを備えた高速多軸モーションユニットを備えており、正確なプロセス制御を可能にします。このマシンには、ウェーハの自動CNCローディングとアンロード、およびウェーハアライメントとバックサイド洗浄機能が含まれています。また、In-processおよび/またはPost-Polishingウェーハ処理用のプログラム可能なZ軸ステージも含まれています。ADVANCED IMAGING Robo 4は、優れた精度、精度、再現性で優れたプロセスロバスト性を提供し、ウェーハを熱的、機械的、化学的損傷から保護します。Robo 4の機械設計は、プロセス環境の最高レベルの精度と安定性を保証します。プログラマブルな圧力調整とエアフロー制限制御により、メディアの選択と研削ダイナミクスに最大限の柔軟性を提供します。VEECO/ADVANCED IMAGING Robo 4は、優れたプロセス制御も提供し、ユーザーはすべてのプロセスパラメータをリアルタイムで監視および調整できます。インプロセスモニタリングツールは、メディア除去、研削圧力、表面仕上げなどのプロセスパラメータをセンサレスでリアルタイムに制御できます。アセットは温度調節器および環境フィルターによって熱、機械および化学損傷から保護されます。VEECO Robo 4は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途において比類のない性能と信頼性を提供します。高度な自動化、優れたプロセス制御、一貫した品質により、大量生産および再現可能なプロセスに最適です。このモデルは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨など、最も要求の厳しい詳細なイメージングプロセスに最適です。