中古 UNIVERSAL VISE & TOOL Swisher Mark VI #92001 を販売中

UNIVERSAL VISE&TOOL Swisher Mark VIは、半導体ウェーハの非常に正確で高精度な研磨の要件を満たすように設計された包括的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、生産環境における半導体ウェーハの高速、自動、正確なラッピングおよび研磨用に設計されています。Mark VIには、高度な制御アルゴリズムを備えたクローズドループプログラマブルコントローラユニットであるMark VIターンテーブルが内蔵されています。このアルゴリズムを使用して、ターンテーブルの動きの速度、加速度、減少を調整し、ラッピングおよび研磨作業の精度を確保することができます。Mark VIは、最新のウェーハチャッキングマシンを搭載しているため、ユニークです。このツールは、ラッピングおよび研磨プロセス中に潜在的な滑りや傾きを排除するように設計されています。Mark VIはまた、ラッピング表面全体の一定の温度を維持するように設計された非常に効率的な冷却アセットを備えています。これにより、ウェーハに適用されるラッピング力や研磨力の変化がなく、再現性と一貫した結果が保証されます。専用のウェーハホルダーも付属しており、研磨サイクル全体でウェーハをしっかり保持するように設計されており、加工サイクル中にウェーハが滑ったり傾いたりする可能性がありません。さらに、半導体ウェーハ研削、ラッピング、研磨加工全体で最高レベルの精度と再現性を実現できるように、モデル全体が精密組立および位置決め用に設計されています。マークVIには、ラッピングおよび研磨プロセスで必要に応じてウェーハに圧力をかける空気圧ポリッシングアームが装備されています。アームは、プロセス中に最も正確な圧力がウェーハに印加されることを確認するために調整可能です。マークIVのラッピングプレートは、ほとんどの基板サイズに合わせて設計されており、最高の精度と再現性を確保するためにダイヤモンドベースの研磨剤でコーティングされています。最後に、Mark VIには、ラッピングプレートの迅速かつ正確な位置決めを可能にする調整可能な速度を備えたダイレクトドライブサーボモーター装置が装備されています。このシステムは、迅速な研磨サイクルと反復可能な結果を可能にします。