中古 U-TEN UT1200-4HD #293669481 を販売中

U-TEN UT1200-4HDは、微細な表面仕上げ加工において優れた精度と精度を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。マルチステーションロボットアームを使用し、作業エリア内で連続的にウェーハを移動させ、ウェーハ全体の研削、ラッピング、研磨を同時に行うことができます。これにより、プロセスの各ステップにかかる時間が短縮され、より高いスループット率を維持できます。UT1200-4HDは、直径200mmまでの研削、ラップ、研磨ウェハをユーザーに提供します。これは、再現可能なプロセスパラメータを維持および検証できる高精度のデジタル制御CNCまたは空気圧駆動モータを介して行われます。さらに、このユニットには、乾式および湿式の両方の研削が可能なハイブリッドスピンドルが含まれており、10,000〜30,000 RPMまでの調整可能な速度を提供します。これにより、ユーザーは特定のアプリケーションに合わせて可変速度を設定できます。U-TEN UT1200-4HDは、3段階の調整可能な研磨スカイビングマシンを使用して、ラッピングおよび研磨操作の精度を向上させます。このツールは、プログラム可能なタッチスクリーンを使用して、所望の研磨レベルに素早く調整できます。このアセットにより、インプロセス操作中に正確な研磨レベルの調整が可能になり、ウェーハの品質が損なわれることはありません。UT1200-4HDは、基板の取り扱いにチルテーブルウェーハチャッキングテーブルを採用しています。このテーブルは0-45度から傾くことができ、多段式研削、ラッピング、研磨プロセス中に便利な角度調整を可能にします。さらに、セグメンタルウェーハフィードチャッカーがモデルに統合されているため、ウェーハの正確で効率的なロードとアンロードが可能です。最後に、U-TEN UT1200-4HDは、研削ホイール、研磨布、スラリー校正などの幅広いプロセスアクセサリーと完全に互換性があります。これにより、ユーザーは機器をカスタマイズし、特定のアプリケーションの固有の要件に合わせて調整することができます。これらの高度な機能の統合により、UT1200-4HDは超精密表面仕上げ加工を実現するための理想的なツールです。