中古 TOSHIBA / SHIBAURA KRTC-11A #9260801 を販売中

TOSHIBA/SHIBAURA KRTC-11Aは、スループットを高め、生産効率を向上させるために設計された、高精度の自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この完全に自動化されたシステムは、1サイクルで最大12個のウェーハを処理でき、直感的なユーザーインターフェイスで設計されており、操作を迅速かつ簡単に行うことができます。東芝KRTC-11Aは、ウェーハ研削・研磨ステーションをはじめ、ダイヤモンド研磨技術を応用した高度なラッピングステーションにより、高い平面性と表面仕上げを実現しています。このユニットには、ウェーハをピックアップして各ステーションに転送するロボットウェーハのロード/アンロードアームが含まれており、複数のウェーハを並列に処理することができます。ウェハ研削プロセスは、角度と傾きで調整可能な研削チャックにウェハをロードすることから始まります。工程の各ステップは、研削ホイール速度、手当、ドレッシング周波数、研削圧力などのパラメータが調整可能な機械のタッチスクリーンユーザーインターフェイスを介して正確かつ制御されます。その後、信頼性の高いスラリーフィードツールを使用してウェーハをラップし、研磨し、均一なスラリーアプリケーションと徹底した洗浄プロセスを保証します。アセットの先進的なラッピングステーションは、幅広い研磨パッドに対応し、さまざまな種類の研磨スラリーを使用して、最大0。5マイクロメートルの正確な平坦性と最大5ナノメートルの滑らかな表面仕上げを実現できます。ロードからアンロードまでのサイクル全体は30分未満で、大量の生産要件に最適です。また、SHIBAURA KRTC-11Aでは、ウェーハマッピング機能を搭載しており、各加工ウェーハのグローバル・ローカル・トポグラフィを検査し、高い精度を実現しています。また、東芝の信頼性の高いサービスとサポートネットワークにより、保守・修理が容易に行えるよう設計されています。全体として、KRTC-11Aは、個々のウェーハプロセスに対して究極の精度と再現性を達成するための費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。高速処理、堅牢な構造、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ウエハ研削、ラッピング、研磨に最適です。