中古 TATENO HL-1M (N) #9395759 を販売中

TATENO HL-1M （N）は、コンパクトでオールインワンウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシングルステージプロセスにより、精密な制御により、ウェーハの高品質な研削、ラッピング、研磨作業を可能にします。このシステムは、さまざまな石英またはシリコンウェーハの研削前および研削後またはラッピングに使用できます。研削ヘッドと石英/シリコンウェハサポート付きのローディングステージで構成されています。研削速度、圧力、各種ウェハトリートメントおよび材料調製のパス数を調整するために設計されています。圧力は0から10 kgfの間で調節可能であるが、その速度は80から300のrpmの間で調節することができます。温度制御と過圧防止のための安全制御ユニットが内蔵されています。グラウンドウエハは目視検査で制御され、除塵機で洗浄されます。研削ヘッドは、ACモータによって駆動される一定の速度ギアリングツールを備えており、さまざまな研削ブレードを保持するように設計されています。研削およびラッピング工程では、ウェーハを一度に1つずつ供給し、均一な表面に自動的に回転させます。圧力は実際の粉砕およびラップ工程の間に正確に調節可能です。この軽量機械は非常に作動し易く、最低のセットアップ時間を要求します。これは、地上ウェハの効率的な冷却のための調整可能な水流量と温度制御を備えています。グラインドストーンは、ウェーハ処理後の優れた平面性を備えた自由切断面を提供します。また、高度なEPC （Electronic Pressure Control）アセットを備えており、プロセス全体で正確な研削圧力を保証します。これにより、ラフラッピングや仕上げなどの用途や、さまざまな精密表面処理に最適なツールとなります。TATENO HL-1M （N）は、社内およびOEMレベルの生産に最適です。その優れた設計は、優れた再現性と結果の精度で真のシングルステージ、オールインワン動作を提供します。この高品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、あらゆる種類のウェーハの準備のための信頼性の高いソリューションです。