中古 TAMUKAI TLP-9B #9050601 を販売中

TAMUKAI TLP-9Bは、業界レベルのリソグラフィおよび生産レベルのフラット光学アプリケーションを提供することを目的としたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、ドライモード研磨および研磨プロセスと超音波研削を組み合わせた高精度の加工面を提供することができます。研削工程と研磨工程の手動制御と自動制御を兼ね備えており、高精度な加工面を迅速かつ効率的に実現します。TLP-9Bマシンは、一貫した信頼性の高い研削、ラップ、研磨ウェハに加工センターを形成するいくつかのコンポーネントで構成されています。ウェットグラインディングユニットは、さらなる加工に備えて、ウェハ表面を迅速かつ効率的に洗浄し、粗くするように設計されています。2軸ダイレクトドライブモータによる高速運転で、調整可能な速度と力制御を実現します。ラッピング/ポリッシングユニットは、滑らかで完成した表面を生成するように設計されています。このプロセスは、滑らかで反復可能な表面仕上げを保証するために、カスタム開発された双頭運動を使用します。このプロセスは、調節可能な速度のサーボモータ、および調整可能なダウンフォースパラメータによって駆動されます。クリーニングステーションは、研削ステーションまたは研磨ステーションから取り残された残留物をきれいにするように設計されています。このステーションは、高性能のウォータージェットノズルを備えており、ウエハ表面を迅速かつ効果的に洗浄するためにユニークな攪拌を利用しています。TAMUKAI TLP-9Bツールはまた、目的の結果に必要なすべての研削および研磨パラメータを迅速かつ効果的に制御するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。ユーザーは、自動的に動作するようにアセットを設定することができ、提供された視覚的フィードバックを使用して操作の進行を簡単に観察することができます。さらに、このモデルには、アプリケーションに関するすべてのデータを記録するデータロギング装置が装備されており、プロセスの成功を監視するためにレポートを生成するために使用することができます。全体として、TLP-9Bシステムは、産業レベルの生産速度で研磨され、完成したウェーハを生産するための信頼性の高いユニットです。最先端のコンポーネントとソフトウェアを使用しながら、反復可能な結果を提供するように設計されています。この機械はまたプログラムし易く、使用し易く、それを大規模および小規模の適用のために適したようにします。