中古 STUDER RHU 400 #9257330 を販売中

STUDER RHU 400は、さまざまな製造用途に使用するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径150mmから450mmまでのウェーハの研削、ラッピング、研磨に適しています。1時間あたり最大800個のウェーハを処理するように設計されており、最も困難な半導体アプリケーションに適した表面処理結果を達成することができます。このシステムは、10nm Ra未満の表面粗さと1Ra未満の表面仕上げを達成することができます。また、ウエハエッジやその他の複雑な表面でバリ取りやミラー研磨を行うこともできます。このユニットは、機械的研削および研磨プロセスを正確に制御できる機能を備えています。また、変化する要件に合わせて、これらのプロセスに対応して微調整することもできます。RHU 400の特長は、熱監視・制御装置です。このツールは、アセットが一貫した信頼性の高い結果を可能にするために、制御された温度エンベロープ内で動作することを保証します。また、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースを搭載し、各種研削・研磨機能を直感的に制御することができます。このソフトウェアを使用すると、生産パラメータを監視することもできます。この装置は、優れた再現性と柔軟性を兼ね備えた高精度な結果を提供するように設計されています。最大1,200rpmのスピードで研削・研磨作業を制御できる電子駆動システムを搭載しています。STUDER RHU 400はモジュール式の設計で、ユーザーは特定の要件を満たすように構成することができます。あらゆる半導体材料との連携が可能で、耐摩耗性に優れているため、高容量バッチの加工が可能です。RHU 400は、さまざまな半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適です。モジュラー設計、熱制御、高度なソフトウェアインターフェイス、研削および研磨機能により、大量および精密なジョブに最適です。