中古 STUDER RHU 400 #9066964 を販売中

STUDER RHU 400は、ウェーハ層における優れた平面化と熱膨張係数（CTE）の低減を目的とした次世代ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。セラミックコーティングされた研磨板を使用し、高い平面化で優れた表面仕上げを実現します。RHU 400には、自動運転のための高度なコンピュータコントロールユニットが装備されており、所望のCTE削減と表面仕上げに応じて精密な研削、ラッピング、研磨サイクルを設定できます。600mm径のウェーハホルダーは、研削、ラッピング、研磨プロセス全体でウェーハを均一に平らに保つように設計されており、均一性を維持し損傷を回避するためのユニークな空気圧機能を備えています。また、精度と速度を同時に調節できるサーボコントロールを搭載しているため、ウェーハの厚みの変化にも対応できます。STUDER RHU 400は、ウェーハから不純物を除去するための自動ケムスクラバーを備えています。さらに、研磨ディスク、ピストンラッピング、ブラシ、ステンレススチールグリッド、アルミニウムスラリープレートなど、5つの異なる研磨ツールが装備されています。これらのツールは、可能な限り最高の表面仕上げと平面化を実現するように設計されています。RHU 400には、研削、ラッピング、研磨プロセス全体を監視するための高度なデータ収集装置であるAuto Sensor Gunも装備されています。このデバイスは、すべてのサイクル時間が記録され、品質管理を改善するための統計プロセス制御（SPC）を自動化します。STUDER RHU 400は、市場で入手可能な最も先進的で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、および研磨システムの1つです。これは、優れたCTE削減と表面仕上げを提供するように設計されており、プロセス制御と品質保証に不可欠なデータを提供します。このモデルは、自動センサ技術と5つの研磨ツールを備えており、優れた平面化を必要とする大規模なウェーハ製造アプリケーションに最適です。