中古 STRASBAUGH RGDE-4 #9045668 を販売中

STRASBAUGH RGDE-4
ID: 9045668
ウェーハサイズ: 8"-10"
Polisher, 8"-10" (4) Spindle.
STRASBAUGH RGDE-4は、ウエハ研削、ラッピング、研磨を完全に自動化したウエハーです。このシステムは、シリコン、ガラス、石英、ハードディスクなどの幅広い基板材料を研削、ラッピング、研磨することができます。堅牢な構造を備え、調整可能なプロセスパラメータを使用して、<1nm Ra以下の安定した表面仕上げを実現します。RGDE-4は、大きなウェハサイズの領域に均一な表面仕上げを確保するために、湾曲した粉砕経路に続く惑星研削ホイールを利用しています。車輪は精密制御および速度のための高精度のサーボモーターによって運転されます。基板を保持し、反りを防止するウエハホルダーを内蔵しています。また、クリーニング時間を短縮するための統合されたリンガーアームが装備されています。コントロールパネルは直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、操作が簡単です。この機械は、ダイヤモンド研削ホイール、ラッピングディスク、研磨布、化学スラリーなど、さまざまな消耗品で動作します。また、低汚染レベルの高真空ポンプ機能を備えています。STRASBAUGH RGDE-4は、高品質のウェーハ表面仕上げを実現するための信頼性が高く、効率的で費用対効果の高いツールです。
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